CM602 操作维修手册.pdf - 第226页
CM602-L 维修手册 1.10 换 消耗零件的更 Page 1-166 12. 按操作面板上的 + [ 真空泵 ] 。 • 真空泵停止运行，显示状态将从 ON 变为 OFF 状态。 13. 双击功能键 。 [ 戻る ] を 2 回押す。 EJM8A-C-MMC01-A05-01 EJM4A-Mp-00 90 12 13
CM602-L
维修手册
1.10
换
消耗零件的更
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6.
选择更换阀的工作台。
7.
按操作面板上的
+
[
真空泵
]
。
•
真空泵开动，显示状态将从
OFF
变为
ON
状态。
8.
按操作面板上的
+
更换后的
pos
的
[
真空
]
。
•
显示状态将从
OFF
变为
ON
状态。
9.
确认更换后的阀吸头的真空值小于
−
10
。
(
在
部分上显示
)
10.
按操作面板上的
+
更换后的
pos
的
[
真空
]
。
•
显示状态将从
ON
变为
OFF
状态。
11.
确认更换后的阀吸头的真空值为
±
2
左右。
(
在
部分上显示
)
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10
2
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1.10
换
消耗零件的更
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12.
按操作面板上的
+
[
真空泵
]
。
•
真空泵停止运行，显示状态将从
ON
变为
OFF
状态。
13.
双击功能键
。
[戻る]を 2 回押す。
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12
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维修手册
1.10
换
消耗零件的更
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1.10.5
真空阀的更换
(
多功能吸头
)
更换步骤
多功能吸头每次更换
3
个吸头的真空阀。
∗ 进行维护作业时有必要拆下供料器工作台盖和整体交换台车。
(
“1.2.2
整体交换台车的拆卸和安装，
1.2.4
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
1.
将电源开关置于
OFF (O)
的同时，停止空
气的供给。
∗
请将电源开关和主空气阀上锁。
2.
打开安全盖。
3.
将吸头移动到容易操作的位置。
•
移动吸头时，请握住手柄。
4.
卸下固定螺栓，取下吸头盖
(
前侧，后侧
都取下
)
。
5.
拔出阀的透明配管。
6.
拔出真空传感器吸头。
7.
切断配线的捆扎带，取下阀的配线连接器
(
基板上
)
。
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真空传感器吸头
透明配管