CM602 操作维修手册.pdf - 第478页

CM602-L 维修手册 3.6 负荷一览表 Pa ge 3- 74 (2/6) 模块名称 No. 名称 配置位置 备注 VL126 整体交换上升 AF VL127 整体交换下降 AF VL326 整体交换上升 AR VL327 整体交换下降 AR VLA26 整体交换上升 BF VLA27 整体交换下降 BF VLC26 整体交换上升 BR VLC27 整体交换下降 BR MVL10 空气下降阀 - VL120 照相机视野切换 1 A…

100%1 / 504
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-73
3.6.2
电磁阀一览表
(VL)
标准部
(1/6)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
VL520
基板支座
Z
夹具
2
A
VL522
基板支座支撑上升
2
A
VL523
基板支座支撑下降
2
A
VL524
支撑块交换上升
A
VL525
支撑块交换下降
A
VL530
基板支座
Z
夹具
1
A
VL532
基板支座支撑上升
1
A
VL533
基板支座支撑下降
1
A
VL540
基板定位止动器
1
A
VL541
基板定位止动器
2
A
VL542
基板定位止动器
3
A
VL920
基板支座
Z
夹具
2
B
VL922
基板支座支撑上升
2
B
VL923
基板支座支撑下降
2
B
VL924
支撑块交换上升
B
VL925
支撑块交换下降
B
VL930
基板支座
Z
夹具
1
B
VL932
基板支座支撑上升
1
B
VL933
基板支座支撑下降
1
B
VL940
基板定位止动器
1
B
VL941
基板定位止动器
2
B
VL942
基板定位止动器
3
B
VL234
编带切刀
(
)
AF
VL235
解除编带切刀
(
)
AF
VL236
编带切刀
(
)
AF
VL237
解除编带切刀
(
)
AF
VL434
编带切刀
(
)
AR
VL435
解除编带切刀
(
)
AR
VL436
编带切刀
(
)
AR
VL437
解除编带切刀
(
)
AR
VLB34
编带切刀
(
)
BF
VLB35
解除编带切刀
(
)
BF
VLB36
编带切刀
(
)
BF
VLB37
解除编带切刀
(
)
BF
VLD34
编带切刀
(
)
BR
VLD35
解除编带切刀
(
)
BR
VLD36
编带切刀
(
)
BR
主体部
VLD37
解除编带切刀
(
)
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-01
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-74
(2/6)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
VL126
整体交换上升
AF
VL127
整体交换下降
AF
VL326
整体交换上升
AR
VL327
整体交换下降
AR
VLA26
整体交换上升
BF
VLA27
整体交换下降
BF
VLC26
整体交换上升
BR
VLC27
整体交换下降
BR
MVL10
空气下降阀
-
VL120
照相机视野切换
1
AF
VL121
照相机视野切换
2
AF
VL320
照相机视野切换
1
AR
VL321
照相机视野切换
2
AR
VLA20
照相机视野切换
1
BF
VLA21
照相机视野切换
2
BF
VLC20
照相机视野切换
1
BR
主体部
VLC21
照相机视野切换
2
BR
AFHVL10
切换吹气压
AF
ARHVL10
切换吹气压
AR
BFHVL10
切换吹气压
BF
XY
装置
BRHVL10
切换吹气压
BR
基板传送带
L
VL513
治具基板吸着
A
基板传送带
R
VL913
治具基板吸着
B
EJM8A-C-MMC03-A02-01
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-75
(3/6)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
HVL101
NP1
切换空气开放·吹气
AF
HVL102
NP2
切换空气开放·吹气
AF
HVL103
NP3
切换空气开放·吹气
AF
HVL104
NP4
切换空气开放·吹气
AF
HVL105
NP5
切换空气开放·吹气
AF
HVL106
NP6
切换空气开放·吹气
AF
HVL107
NP7
切换空气开放·吹气
AF
HVL108
NP8
切换空气开放·吹气
AF
HVL109
NP9
切换空气开放·吹气
AF
HVL110
NP10
切换空气开放·吹
AF
HVL111
NP11
切换空气开放·吹
AF
HVL112
NP12
切换空气开放·吹
AF
HVL101
NP1
切换空气开放·吹气
AR
HVL102
NP2
切换空气开放·吹气
AR
HVL103
NP3
切换空气开放·吹气
AR
HVL104
NP4
切换空气开放·吹气
AR
HVL105
NP5
切换空气开放·吹气
AR
HVL106
NP6
切换空气开放·吹气
AR
HVL107
NP7
切换空气开放·吹气
AR
HVL108
NP8
切换空气开放·吹气
AR
HVL109
NP9
切换空气开放·吹气
AR
HVL110
NP10
切换空气开放·吹
AR
HVL111
NP11
切换空气开放·吹
AR
HVL112
NP12
切换空气开放·吹
AR
HVL101
NP1
切换空气开放·吹气
BF
HVL102
NP2
切换空气开放·吹气
BF
HVL103
NP3
切换空气开放·吹气
BF
HVL104
NP4
切换空气开放·吹气
BF
HVL105
NP5
切换空气开放·吹气
BF
HVL106
NP6
切换空气开放·吹气
BF
HVL107
NP7
切换空气开放·吹气
BF
HVL108
NP8
切换空气开放·吹气
BF
HVL109
NP9
切换空气开放·吹气
BF
HVL110
NP10
切换空气开放·吹
BF
HVL111
NP11
切换空气开放·吹
BF
HVL112
NP12
切换空气开放·吹
BF
HVL101
NP1
切换空气开放·吹气
BR
HVL102
NP2
切换空气开放·吹气
BR
HVL103
NP3
切换空气开放·吹气
BR
HVL104
NP4
切换空气开放·吹气
BR
HVL105
NP5
切换空气开放·吹气
BR
HVL106
NP6
切换空气开放·吹气
BR
HVL107
NP7
切换空气开放·吹气
BR
HVL108
NP8
切换空气开放·吹气
BR
HVL109
NP9
切换空气开放·吹气
BR
HVL110
NP10
切换空气开放·吹
BR
HVL111
NP11
切换空气开放·吹
BR
移载吸头
(
高速吸头
12
吸嘴
)
HVL112
NP12
切换空气开放·吹
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-01