CM602 操作维修手册.pdf - 第242页
CM602-L 维修手册 1.10 换 消耗零件的更 Page 1-182 8. 参照左图连接配线 (4 条 ) 。 ∗ 连接时，请使配线的符号 (U 、 V 、 W) 与端子 台的 (U 、 V 、 W) 相一致。 9. 用螺栓 (4 根 ) 固定真空泵。 拧紧扭距 : 1.6 N•m ± 0.1 N•m 10. 把盖安装上。 11. 将电源开关置于 ON ( I ) 的同时，开始空 气的供给。 EJM4A-128E 配线 端子台 地…
CM602-L
维修手册
1.10
换
消耗零件的更
Page 1-181
3.
取下与真空泵连结的管
(
黑色、
2
根
)
。
4.
卸下固定真空泵基础的螺栓
(4
支
)
。
通知
在打开配电部位之前，一定要事先确认机器主机的电源是否处于
OFF
状态。
拆卸连接在配电部位的配线
(4
根
)
。
请注意不要弄错配线的顺序。如果弄错顺序，将会造成真空泵电极逆旋转的原因。
5.
打开真空泵的配电部位
(
左图框内
)
。
6.
拆卸真空泵，更换新的真空泵。
7.
连接管。
下一页
4Z4C-457P
EJM8A-C-MMC01-A05-00
4Z4C-457P
管
螺栓
CM602-L
维修手册
1.10
换
消耗零件的更
Page 1-182
8.
参照左图连接配线
(4
条
)
。
∗
连接时，请使配线的符号
(U
、
V
、
W)
与端子
台的
(U
、
V
、
W)
相一致。
9.
用螺栓
(4
根
)
固定真空泵。
拧紧扭距
: 1.6 N•m
±
0.1 N•m
10.
把盖安装上。
11.
将电源开关置于
ON ( I )
的同时，开始空
气的供给。
EJM4A-128E
配线
端子台
地线
EJM8A-C-MMC01-A05-00
CM602-L
维修手册
1.10 消耗零件的更换
Page 1-183
1.10.10
保险丝的更换
使用工具 十字螺丝刀·六角扳手 需要时间 60 分钟
型号
02173.15MXP
位置: PNF0AF-AA 基板 (FU5)
∗
额定: 3.15A
型号
0217001.MXP
位置: PNF0AF-AA 基板 (FU6)
∗
额定: 1.0A
∗ 在作业过程中注意别碰头。
∗ 维护作业时有必要卸下供料器工作台盖和整体交换台车。
(
“1.2.2 整体交换台车的拆卸和安装、1.2.4 供料器工作台盖的拆卸和安装”)
1.
将电源开关置于 OFF (O) 的同时，停止空
气的供给。
∗
请将电源开关和主空气阀上锁。
下一页
EJM4A-132E00
EJM8A-C-MMC01-A05-01