CM602 操作维修手册.pdf - 第336页

CM602-L 维修手册 2.2 机器参数的示教步 骤 Pa ge 2- 90 4. 将伺服开关置于 OFF (O) 。 5. 打开安全盖。 6. 使面补正量具滑动到 Z 夹具的下方， 并将 量具推碰到止动器上。 例 ) 基板流动方向 → 设定时，使 “ 基 + ” 的标记位于止动器侧 。 7. 关闭安全盖。 8. 将伺服开关置于 ON ( I ) 。 9. 按操作面板的 + [ 量具调整 ] 。 下一页 O FF ( ) ON ( )…

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CM602-L
维修手册
2.2
机器参数的示教步骤
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2.2.6
面补正
使用工具
面补正量具
(KXFX037GA00)
需要时间
20
分钟
前期准备
∗
在进行面补正示教前，请确认在吸头照相机上没有偏振光板。
∗
请拆卸所有的支撑销。
1.
按
[
面补正
]
。
2.
选择要进行示教的工作台。
∗
请选择
AF
或
BF
。
∗
确认
“
选择做示教的吸头后，请进行量具设置。
”
的信息已出现后，请进行下一步骤。
∗
示教前侧之后，接着一起示教后侧。
3.
按操作面板的
+
[
量具设置
]
。
•
有可能执行传送带的宽度调整。
下一页
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EJM4A-Mp-0039
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2
3
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维修手册
2.2
机器参数的示教步骤
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4.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
5.
打开安全盖。
6.
使面补正量具滑动到
Z
夹具的下方，并将
量具推碰到止动器上。
例
)
基板流动方向
→
设定时，使
“
基
+
”
的标记位于止动器侧。
7.
关闭安全盖。
8.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
9.
按操作面板的
+
[
量具调整
]
。
下一页
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
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EJM4A-015P
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基+
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维修手册
2.2
机器参数的示教步骤
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10.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
11.
打开安全盖。
12.
使面补正量具紧贴在
Y
方向基准导轨上。
以前侧为基准时
:
紧贴前侧
以后侧为基准时
:
紧贴后侧
13.
关闭安全盖。
14.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
15.
按操作面板的
+
[
面补正示教
]
。
∗
先进行前侧示教，接着进行后侧的示教。
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O
FF ( )
ON (
)
SERVO
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
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