PTS-NADXHD-06.pdf - 第42页
[K] [B] [A] [L] S1 (φ4) (φ4) (φ4) φ8 φ6 φ6 (φ3.18) φ4 φ4 φ4 φ6 φ4 (φ3.18) (φ3.18) (φ3.18) φ4 φ4 φ4 φ4 φ4 φ4 φ4 Neg press (From V ac uum pump) white black Manifold 1 (2MGKHL1296**) R12,R4 V acuum T ouch-down sensor NOZZLE…
DynaHead (DX) 8/
ダイナヘッド (DX) 8/
2UGKHL000566
No.
Drg.No. & Code No.
QTY
Description
Rating
Remarks
番号
図番
&
ｺｰﾄﾞ番号
個数
品名
規格
備考
2
2MGKHL178204
1
COVER
カバー
3
K62149
1
SCREW, C/R FLAT
小ネジ 十穴平
M03X006
ﾋﾗﾄｳ
H=0.6
ﾔｷｲﾚ
(
ﾆｯｹﾙﾒｯｷ
)
4
2MGKHL186501
1
COVER
カバー
5
K62149
17
SCREW, C/R FLAT
小ネジ 十穴平
M03X006
ﾋﾗﾄｳ
H=0.6
ﾔｷｲﾚ
(
ﾆｯｹﾙﾒｯｷ
)
7
2MGKHL185200
1
COVER
カバー
10
T50032
1
HANDLE
取手
THA-192-1
11
PM0FTY1
2
SPACER
スペーサ
12
K65002
2
SCREW, HEX SOCKET COUNTERSUNK
小ネジ 六角穴皿
M03X012(3
ｶ
ｼﾛ
)
13
2MGKHL094900
1
SHEET
シート
14
PX05132
1
NAMEPLATE, CAUTION
銘板 注意
15
PX05132
1
NAMEPLATE, CAUTION
銘板 注意
16
2MGKHL171001
1
NAMEPLATE
銘板
17
2MGKHL196900
2
NAMEPLATE
銘板
18
2MGKHL093101
1
SEAL
シール
19
2MGKHL108902
1
SEAL
シール
20
2MGKHL144800
1
COVER
カバー
21
K62149
1
SCREW, C/R FLAT
小ネジ 十穴平
M03X006
ﾋﾗﾄｳ
H=0.6
ﾔｷｲﾚ
(
ﾆｯｹﾙﾒｯｷ
)
22
2MGKHL145001
1
NAMEPLATE
銘板
25
2MGKHL186600
1
COVER
カバー
26
K62149
2
SCREW, C/R FLAT
小ネジ 十穴平
M03X006
ﾋﾗﾄｳ
H=0.6
ﾔｷｲﾚ
(
ﾆｯｹﾙﾒｯｷ
)
27
K66234
1
SCREW, C/R COUNTERSUNK
小ネジ ＋穴皿
SNF-M3X5-SD-TZB
28
K62149
1
SCREW, C/R FLAT
小ネジ 十穴平
M03X006
ﾋﾗﾄｳ
H=0.6
ﾔｷｲﾚ
(
ﾆｯｹﾙﾒｯｷ
)
29
2MGKHL178700
1
SCREW, C/R COUNTERSUNK
小ネジ ＋穴皿
41
PTS-NADXHD-06
[K][B][A] [L]
S1
(φ4)
(φ4)
(φ4)
φ8
φ6
φ6
(φ3.18)
φ4
φ4
φ4
φ6
φ4
(φ3.18)
(φ3.18)
(φ3.18)
φ4
φ4
φ4
φ4
φ4
φ4
φ4
Neg press
(From Vacuum pump)
white
black
Manifold 1
(2MGKHL1296**)
R12,R4
Vacuum
Touch-down sensor
NOZZLE CLAMP
(UNCLAMP)
UNCLAMP check
Stepping motor
IPS UNIT
Body
Pos press
(500KPa)
yellow
yellow
blue
red
red
blue
Air blow
Nozzle cleaning
white
orange
orange
yellow-green
white
black
black
S1
Vacuum
Manifold 2
(2MGKHL1297**)
Center shaft
Multi-core Planar Tube
φ3.7~
Touch-down
R12 (A~L)
R4 (A~D)
NOZZLE NOZZLE NOZZLE NOZZLE
( )
4
2
13
12
23
1
7
19
1
5
8
9
3
8
9
6
10
18
5
11
17 17
15
16
20
16
16
16
15
15 15
21
C
DD
E
A
A
A
A
A
A
A
A
A
F
B
B
B
22
DynaHead (DX) 9/
2UGKHL000566
42
PTS-NADXHD-06
DynaHead (DX) 9/
ダイナヘッド (DX) 9/
2UGKHL000566
No.
Drg.No. & Code No.
QTY
Description
Rating
Remarks
番号
図番
&
ｺｰﾄﾞ番号
個数
品名
規格
備考
1
H60091
2
VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
VA01PSP23-1L-Z05-047
2
H66395
1
VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
VQZ235R-5G1-Q
3
H67012
1
VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
S070B-5DG-X26-3
4
2MGKHL041400
1
VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
5
H65539
2
VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
S0715-5G
6
H65540
1
VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
S07A5-5G
7
2MGKHL171901
1
VALVE, ELEC/AIR PROPORTIONAL
バルブ デンクウヒレイ
8
2MGTHA087300
2
VALVE, PRESSURE REDUCING
バルブ 減圧
9
2MGKHL038800
2
SENSOR
センサ
10
S70649
1
CYLINDER, AIR
シリンダ エアー
CJ2B10-15Z
11
2MGKHL066905
1
CYLINDER, AIR
シリンダ エアー
12
S4033G
1
SENSOR, PRESSURE
センサ 圧力
PSE543-M5
13
S63512
1
SENSOR, PRESSURE
センサ 圧力
PSE541-M5
15
2AGKHL002303
12(4)
SPOOL
スプール
16
XH00802
12(4)
FILTER
フィルタ
17
H1041A
2
VALVE, THROTTLING
バルブ 絞り
ASN2-M5
18
2MGKHL122800
1
PLATE
プレート
19
S63104
1
SILENCER
サイレンサ
AN10-01
20
2MGKHL157200
1
FILTER
フィルタ
21
PZ55161
(1)
FILTER
フィルタ
22
H65028
1
VALVE, CHECK
バルブ チェック
80-AKH04-00
23
H79397
1
VALVE, SOL
バルブ ＳＯＬ
S070B-5DG-X225
A
A4068H
9
ELBOW
エルボ
M-5ALU-4
B
A40669
3
ELBOW
エルボ
M-3ALU-3
C
A4068G
1
ELBOW
エルボ
M-5ALU-3
D
S2160A
2
JOINT
ジョイント
M-5AU-6
E
N2030T
1
NIPPLE
ニップル
M-5AU-4
F
Y3044Z
1
UNION, ELBOW
ユニオン エルボ
LH-0425-M3
43
PTS-NADXHD-06