YG12_韩文保养手册.pdf - 第50页

4. 6 개월 / 1 년 3- 2 7 4. 1 카 메라 조명유 니트 의 청소 ( 6 개 월 ) 3- 2 7 4.2 R 축 스 플라 인 벨 트 의 상태 확인 ( 1 년 ) 3- 2 8 4.3 블로우 스테 이션 필터의 청소 와 교환 ( 1 년 ) 3- 2 9 4.4 노즐 스 테이션 센 서의 상 태확 인 ( 1 년 )- -- 옵 션 3- 3 0 4.5 컨트롤 러용 필터 점검 • 청 소 (1 년 )…

제 3 장 정기적인 유지보수 항목

1. 매주 3-1

1.1 노즐의 점검과 청소 3-1

1.1.1 버핑부의점검과청소 3-1

1.1.2 판스프링의확인 3-3

1.2 컨베이어 센서의 상태

•

동작확인 3-4

1.3 기판클램프의 상태

•

동작확인 3-5

1.3.1 기판클램프상태의확인 3-5

1.3.2 기판클램프동작의확인 3-5

2. 매월 또는 격월 3-6

2.1 노즐 에어경로의 청소 3-6

2.2 각 축의 볼스크류 및 리니어가이드의 점검 3-7

2.3 X, Y, W 축의 청소

•

급유 3-8

2.3.1 X,Y,W축볼스크류의청소

•

급유 3-8

2.3.2 X,Y,W 축리니어가이드의청소

•

급유 3-11

2.4 푸쉬업 축의 점검

•

청소와 급유 3-13

2.5 기판 반송부의 점검 3-15

2.5.1 컨베이어벨트의점검과청소 3-15

3. 3 개월 3-16

3.1 이젝터필터의 청소

•

교환 3-16

3.1.1 이젝터진공압력의점검 3-17

3.1.2 블로우밸브의동작확인 ( 각헤드별 ) 3-18

3.1.3 청소용블로우밸브의동작확인 ( 연동 ) 3-18

3.2 스플라인 샤프트내의 청소

•

급유 3-19

3.2.1 스플라인샤프트내의세척 3-19

3.2.2 부압상태의확인 3-22

3.3 스플라인 샤프트의 동작확인과 급유 3-23

3.4 SC 축 플렉스 케이블의 확인 3-24

3.5 에어 / 미스트필터의 점검

•

청소 3-25

4. 6 개월 /1 년 3-27

4.1 카메라 조명유니트의 청소 (6 개월 ) 3-27

4.2 R 축 스플라인 벨트의 상태확인 (1 년 ) 3-28

4.3 블로우 스테이션 필터의 청소와 교환 (1 년 ) 3-29

4.4 노즐스테이션 센서의 상태확인 (1 년 )--- 옵션 3-30

4.5 컨트롤러용 필터 점검

•

청소 (1 년 ) 3-31

4.6 멀티카메라 조명 (1 년 )--- 옵션 3-32

4.7 스캔 카메라 조명 (6 개월 ) 3-34

3-1

1. 매주

여기에서는매주간격으로점검

•

청소를중심으로설명합니다 .

1.1 노즐의 점검과 청소

버핑동작 ( 스프링 동작 ) 의 불량은 흡착에러의 원인이 됩니다 . 이것을 막기 위해 각 노즐의 청소를 해 주십

시오 .

1.1.1 버핑부의 점검과 청소

■ 버핑상태의 확인

노즐의버핑상태를확인하여주십시오 .눌러봐서정상으로돌아오면문제가없지만 ,복귀동작이나쁘면흡착에

러와인식에러가발생합니다 .

노즐의 버핑상태

노즐 선단을 손가락으로 누른다

제자리로 돌아온다

복귀동작이 나쁘다

복귀되지 않는다

OK NG

57300 -L5-00