YG12_韩文保养手册.pdf - 第55页

3-5 3 1 .3 기 판 클 램프 의 상 태 • 동 작확 인 1 .3 . 1 기판 클램 프 상태 의 확인 기 판의 클 램프 상태 에 관하 여 하기 의 항 목 을 확 인하여 주 십시 오 . 1 . 기판클램프했 을때 에 ,기판 에반동현상 은없 는 가 . 2. 기 판클 램 프했을때 에 ,기 판누름플레 이 트 와기 판과 의사이에틈 새 가없 을것 . 3. 기 판클 램…

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3-4
3
1.2 컨베이어 센서의 상태
작확
본 장비에서는 컨이어 센서서 투과형 파이버센서를 사용하고 있습니 .
베이어 레일폭을 변경해도 센서가 정게 동는지 확인할 필가 있습니 .
컨베이어 센서의 상태, 동작확인
투광
수광
57305-L5-00
1
「장치」-「컨베이어」탭을 선택합니다 .
2
「컨베이어폭」버튼을 눌러서 컨베이어
을 변경합니다 .
컨베어폭변경대화창이표시되므로 ,컨베이어
폭을입력하고[OK] 버튼을눌러주십시 .
컨베어가지정된폭으로변경니다 .
3
에러발생 유를 확인합니다 .
컨베어폭을변경했을때 ,에러메시지가표시되
지않으 ,컨베이어센서는정으로동작하고
으므 ,다른조정은불필요합니 .
러메지가표시되었을경우에 ,다음순서에
따라서센서를조정해주십시 .
58300-L5-00
컨베이어 센서의 조정방법
컨베어폭을변경했을때 ,에러가발생한경우에는 ,
컨베어센서로부터의출력상태를확인합니다 .
1.[ ]-「I/O을선택합니 .
2.출력모니 (Output) 의드롭다운리스트에서「컨베
이어」선택합니다 .
3.「컨베이어센서튜닝」(T01000E-1) 을선택합니 .
4.[ON/OFF] 버튼을눌러서0(OFF) 1(ON)
0(OFF) 로전환해 ,자동튜을실행합니다 .
5.차[ 컨베 ] 버튼을누르고컨베이어폭을변
시켜 ,에러메시지가표시되지않으 ,센서가정
적으하고있습니다 .
58301-L5- 00
컨베이어 센서의 확인
Step 1-3
컨베이어 센서의 튜닝
2 3
4
3-5
3
1.3 램프의 상
작확
1.3.1 기판클램프 상태의 확인
판의 클램프 상태에 관하여 하기의 항을 확인하여 주십시 .
1.기판클램프했을때 ,기판에반동현상은없 .
2.판클프했을때 ,기판누름플레와기판과
의사이에틈가없을것 .
3.판클프했을때 ,컨베어레일상면과기판과
의단차가발생하지않았을것 .
4.판클프유니트의동작이원활할것 .
57312- L5 -00
1.3.2 기판램프 동작의 확인
1
「장치」-「컨베이어」탭을 선택합니다 .
2
[ 컨베이어폭 ] 버튼을 눌러서 기판
입력합 .
컨베어폭변경대화창변경후의컨이어폭」
에기판폭을입력하고[OK] 튼을눌러주십시
.컨베이어가지정된폭으로이동합니 .
3
기판두를 입력합니 .
[ ] 튼을누르면 ,대화창이표시됩 .
[ 두께 ] 에기판두께를입력고[OK] 버튼을눌
러주십시 .
58302-L5-00
4
[ 기판 ] 버튼을 눌러서 기판
프합 .
5
재차 [ 기판클램 ] 버튼을 누르면 기
이 언클램프 됩니 .
Step4,5”의 기램프언클램프를 반복해서
행하 , 동이 안정되어 있는지 확합니다 .
클램프 상태의 확인
기판누름 플레이트와의 틈새가 없을 것.
클램프시, 단차가 없는 것을 확인한다.
클램프와 언클램프를
실행해서, 확인한다.
동작의 확인
Step 2-5
Step2
Step3
Step4, Step5
3-6
3
2. 매월 또는 격
기에는 점검후의 청소 및 급유를 중심으로 실합니 .
2.1 즐 에어경로의 청소
e
1
노즐을 분리합니다 .
비상정지 버튼을 눌러서 , 노즐을 탈착해 주십시
. 작업을 안전하게 하기 위해 , 반드시 장비
비상정지 상태로 하여 주 .
c
주의
즐스테이션 ( ) 을 장착한 장비는 , 반드시 노즐을 스테
이션에 장착하여 주십시 .
2
에어블로우 합니다 .
즐내부를 노즐의 양 사이드에서 에어으로 불
어 주십시 .
5730 6-L5-10
n
요점
이 심할 경 , 하기의 Step3,4 를 실행하여 주십시
오.
3
노즐구멍을 청소합니다 .
구멍에 노즐청소용 와이어를 통시켜 청소해
주십시 . 우측 그림과 같이 손가락에 끼우
용핸들을 사용하여 와이어를 고정하고 노
움직여 청 .
57307- L5- 00
4
에어블로우 합니다 .
에서 통과시킨 노즐청소용 와이어를 빼 , 노즐
부를 Step2 와 똑같이 에어건으로 불어 주십시
오.
57308-L5-00
계속해서「버핑부의 점검청소와 교」을 실시
시오 .
( 「1.1.1 버핑부의 점검과 청」참조 )
에어블로우
Step 2
노즐 선단을
끼우고 블로우
에어튜브(흑색)
에어건
(옵션)
에어튜브(오렌지색)
에어공급부에
노즐 장착부에서
블로우
노즐구멍의 청소
Step 3
전용핸들
(옵션)
노즐 노즐청소용 와이어
에어블로우
Step 4
노즐 에어건
(옵션)