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NB168 操作手册 6.3 -3 各轴移动； (1) 按下 [ 各轴 移动 ] 。 。 (2) 选 择要移动的轴 的移动 1 或移动 2 (3) 使 用数字键输入 数值。 (4) 点击 [ 移动 1] 或 [ 移动 2] 使轴动作 。 = 提示 = 如果输入了可动 范围以外的数 值， 将无 法进行任何其他 操作，直至修 改输入值 为正常范围之内 。 只可对单个轴输 入数值，一次 只能单独 移动一个轴。 也可对 “ 移动…
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操作手册
6.3-2
6.3.2 各轴的操作(除H轴处)
各轴的操作，是通过机器调整菜单上的 [各轴微动] 或 [各轴移动] 来进行的。
各轴的操作步骤
1.
1. 调出机器调整画面
按动主菜单上的 [机器调整] 按钮。
2. 操作的选择
各轴微动：
(1) 按下 [各轴微动] 。
(2) 选择要移动的轴。
(3) 用方向键来移动轴。
=提示=
点击 [低速] 后，按 钮 标题变成“高速”，
颜色变成橙色。成为此状态后，轴的动
作速度变成高速。要返回时，点击 [高
速] ，按钮标题变成“低速”，颜色变
回蓝色
勾选 [连续] 后，按住方向键，轴会连
续移动，直到松开方向键。
1
(1)
(2)
(3)
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6.3-3
各轴移动；
(1) 按下 [各轴移动] 。
。
(2) 选择要移动的轴的移动 1 或移动 2
(3) 使用数字键输入数值。
(4) 点击[移动 1] 或 [移动 2] 使轴动作。
=提示=
如果输入了可动范围以外的数值，将无
法进行任何其他操作，直至修改输入值
为正常范围之内。
只可对单个轴输入数值，一次只能单独
移动一个轴。
也可对 “移动 1” 和 “移动 2” 两者都输
入数值，使其反复动作。 (此时请按 [反
复移动 1、2])。
进行反复动作时，可用操作盘上的 <停
止> 按钮停止动作。
3. 各轴操作的结束
点击 [返回] 按钮，返回到机器调整菜单画面。
(2)
(3)
(1)
3
(4)
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6.3-4
6.3.3 搬送动作的操作
搬送动作的操作步骤
2.
1. 调出机器调整画面
按下 [机器调整] 。
2. 操作的选择
按下 [传板测试] 。
3. 搬送动作的确认
按下各按钮，可分别确认各搬送动作。
按钮
内容
从右轨道的基板检测 1 (入口) 搬送基板到基板检测 2 (出口)。
将右轨道的基板搬入 XY 工作台。
将 XY 工作台上的基板搬出到左轨道。
从左轨道的基板检测 3 (入口) 搬送基板到基板检测 4 (出口) 。
1
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3