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6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6.2 Optionale Kompone nten Ausgabe 02/2018 112 6 Abb. 6.2 - 4 Barcodescanner - Inst allationsbeispiel am Magazin-Lift (1) Barcode scanner 1
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen
Ausgabe 02/2018 6.2 Optionale Komponenten
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6.2.3 Barcodescanner
Der Barcodescanner am SWS liest den Barcode auf dem Wafer-Rahmen aufgebrachten Barcode.
Der Barcodescanner kann an zwei Positionen montiert werden:
– Am Magazin-Lift
–Am Greifer
6
Abb. 6.2 - 3 Barcodescanner - Installationsbeispiel am Greifer
(1) Barcodescanner
1
6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
6.2 Optionale Komponenten Ausgabe 02/2018
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Abb. 6.2 - 4 Barcodescanner - Installationsbeispiel am Magazin-Lift
(1) Barcodescanner
1
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen
Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)
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6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)
6
Das SIPLACE Wafer System (SWS) kann mit der Option SWS Wafer Stretcher (Expander) für
zwei verschiedenen Waferaufnahmen (8" oder 12") konfiguriert werden.
SWS Wafer Stretcher (Expander) besteht aus folgenden Hauptbaugruppen.
– Stretcher
Der Stretcher dehnt die Waferfolie mit dem Ziel, die Abstände der sich darauf befindlichen
Dies zu vergrößern. 6
–Heater
Der Heater besteht aus einem Heizelement und aus einem Gebläse. Das Gebläse bläst er-
hitzte Luft auf die Waferfolie. Dadurch wird der Durchhang der Waferfolie so weit reduziert
(kleiner 9 mm), dass der Wafer ins Magazin zurück befördert werden kann. 6
HINWEIS
Der SWS Wafer Stretcher (Expander) kann im Feld nicht nachgerüstet werden.