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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) 127 Hubring entfer nen Es muss der Hubring für die jeweilige Waferaufnahme ausget auscht werden. Abb. 6.3 - 9 Waf…
6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018
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Klemmung lösen
Abb. 6.3 - 8 Wafer-Aufnahme - Klemmung lösen
Entfernen Sie den Sprengring an der Welle (2) der Klemmung (1).
Hängen Sie die Klemmung aus, so dass der Klemmhebel (3) frei ist (4).
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Hubring entfernen
Es muss der Hubring für die jeweilige Waferaufnahme ausgetauscht werden.
Abb. 6.3 - 9 Wafer-Aufnahme - Hubring ausbauen
Entfernen Sie die 4 Schrauben (1) für die Fixierung des Hubringes.
Entnehmen Sie die Fixierscheibe (2) und die Feder (3). Achten Sie darauf, dass Sie die Fi-
xierscheibe (2) und die Feder (3) für den späteren Wiedereinbau nicht verlieren.
Stecken Sie die beiden Sensoren (4) am Stecker (5) der Kabelverlängerung (6) ab.
Entnehmen Sie den Hubring.
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Sensoren beim 8" Hubring demontieren
Bei der 8" Waferaufnahme sind die beiden Sensoren am Hubring befestigt. Diese Sensoren müs-
sen für den späteren Wiedereinbau vom 8" Hubring demontiert werden. Bei der 12" Waferauf-
nahme werden die beiden Sensoren mit Hilfe der mitgelieferten Winkeln auf die Waferaufnahme
im SWS montiert.
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Abb. 6.3 - 10 Wafer-Aufnahme - 8" Hubring ausgebaut
Demontieren Sie die, über den Sensoren angebrachten, Hitzeschutzbleche.
Demontieren Sie die beiden Sensoren (1) von den Montagewinkeln des Hubringes.
Entnehmen Sie die beiden Sensoren und montieren diese auf die beiden Montagewinkel aus
dem 12" Nachrüstsatz.
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