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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) 129 Sensoren auf die Montage winkel für 12" montieren 6 Abb. 6.3 - 1 1 Wafer-Aufnahme - Sensor 1 (1) Montage…
6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018
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Sensoren beim 8" Hubring demontieren
Bei der 8" Waferaufnahme sind die beiden Sensoren am Hubring befestigt. Diese Sensoren müs-
sen für den späteren Wiedereinbau vom 8" Hubring demontiert werden. Bei der 12" Waferauf-
nahme werden die beiden Sensoren mit Hilfe der mitgelieferten Winkeln auf die Waferaufnahme
im SWS montiert.
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Abb. 6.3 - 10 Wafer-Aufnahme - 8" Hubring ausgebaut
Demontieren Sie die, über den Sensoren angebrachten, Hitzeschutzbleche.
Demontieren Sie die beiden Sensoren (1) von den Montagewinkeln des Hubringes.
Entnehmen Sie die beiden Sensoren und montieren diese auf die beiden Montagewinkel aus
dem 12" Nachrüstsatz.
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Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)
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Sensoren auf die Montagewinkel für 12" montieren
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Abb. 6.3 - 11 Wafer-Aufnahme - Sensor 1
(1) Montagewinkel
(2) Sensor auf Montagewinkel montiert
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Abb. 6.3 - 12 Wafer-Aufnahme - Sensor 2
(1) Montagewinkel
(2) Sensor auf Montagewinkel montiert
Montieren Sie die beiden Sensoren (2) auf die Montagewinkel (1) aus dem 12" Nachrüstsat-
zes.
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Sensoren in die 12" Waferaufnahme einbauen
Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.
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Abb. 6.3 - 13 Wafer-Aufnahme - Sensoren montieren
Stecken Sie den Anschluss der Sensoren an.
Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.