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6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018 132 Abdeckblech montier en (nur bei 12" Waferaufnahme) Montieren Sie das Abdeckblech mit 4 Schrau ben auf di…
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen
Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)
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Klotz auf Klemmung montieren
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Abb. 6.3 - 14 Wafer-Aufnahme - Klotz für Klemmung montieren
Montieren Sie den Klotz (2) aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Klemmung (1).
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6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018
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Abdeckblech montieren (nur bei 12" Waferaufnahme)
Montieren Sie das Abdeckblech mit 4 Schrauben auf die Waferaufnahme.
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Abb. 6.3 - 15 Wafer-Aufnahme - Abdeckblech montieren
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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen
Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)
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Hubring montieren
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Abb. 6.3 - 16 Wafer-Aufnahme - Hubring montieren
Legen Sie den Hubring (1) ein.
Stecken Sie die vier Federn (3) in die vier Bohrungen.
Stecken Sie die vier Fixierscheiben (2) auf.
Befestigen Sie die Fixierscheiben mit den Befestigungsschrauben (4).
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