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6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018 130 Sensoren in die 12 " Waferaufnahme ei nbauen Montieren Sie die beiden Senso ren mit den Mont agewinkeln …
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen
Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)
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Sensoren auf die Montagewinkel für 12" montieren
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Abb. 6.3 - 11 Wafer-Aufnahme - Sensor 1
(1) Montagewinkel
(2) Sensor auf Montagewinkel montiert
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Abb. 6.3 - 12 Wafer-Aufnahme - Sensor 2
(1) Montagewinkel
(2) Sensor auf Montagewinkel montiert
Montieren Sie die beiden Sensoren (2) auf die Montagewinkel (1) aus dem 12" Nachrüstsat-
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6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018
130
Sensoren in die 12" Waferaufnahme einbauen
Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.
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Abb. 6.3 - 13 Wafer-Aufnahme - Sensoren montieren
Stecken Sie den Anschluss der Sensoren an.
Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen
Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)
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Klotz auf Klemmung montieren
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Abb. 6.3 - 14 Wafer-Aufnahme - Klotz für Klemmung montieren
Montieren Sie den Klotz (2) aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Klemmung (1).
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