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5 Aufgaben am SWS Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 5.2 Magazin in den Magazin-Lift einsetzen Ausgabe 02/2018 94 5.2 Magazin in den Magazin-Lif t einsetzen  Fahren Sie den Magazin-Lif t in die Magazin-W echse…

Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 5 Aufgaben am SWS

Ausgabe 02/2018 5.1 Magazin befüllen

5 Aufgaben am SWS

Dieses Kapitel enthält eine Anzahl von Themen, die Sie bei der täglichen Arbeit an einer

SIPLACE-Linie unterstützen sollen. So wird Ihnen z. B. Hilfestellung gegeben, wie Sie schon im

Vorfeld die notwendigen Maßnahmen treffen können, um die Maschinenstillstandszeiten zu mini-

mieren, sodass eine möglichst hohe Effizienz der SIPLACE-Linie bei der Produktion erreicht wird.

5.1 Magazin befüllen

 Befüllen Sie die Magazine mit den Waferrahmen so, dass die Zentrierkerben nach vorne, zur

Einschuböffnung zeigen.

HINWEIS

Bestimungsgemäße Verwendung durch qualifiziertes Personal

Bei nicht bestimmungsgemäßer Verwendung können Gefahren für Leib und Leben und

Sachbeschädigungen auftreten.

 Nur entsprechend qualifiziertes Personal darf die Maschine in Betrieb nehmen, be-

dienen oder sonstige Arbeiten am SIPLACE Wafer System durchführen. Weitere In-

formationen finden Sie dazu in Abschnitt 1.1.5

, Seite 14.

 Die Qualifikation muss durch Schulungen oder Unterweisungen des Personals

nachgewiesen werden.Die Unterweisung hat durch von SIPLACE ausgebildetes

und autorisiertes Personal zu erfolgen. Eine Übersicht über Trainingskurse finden

Sie Abschnitt 1.3

, Seite 29.

HINWEIS

 Achten Sie bei Verwendung von Frame-Adaptern für 4, 5 oder 7 Zoll Wafer darauf,

dass nur jeder zweite Slot verwendet werden darf.

5 Aufgaben am SWS Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)

5.2 Magazin in den Magazin-Lift einsetzen Ausgabe 02/2018

5.2 Magazin in den Magazin-Lift einsetzen

 Fahren Sie den Magazin-Lift in die Magazin-Wechsel-Position, damit der Magazin-Lift auf

Höhe der Wechselposition ist.

 Öffnen Sie die SWS Schiebetür des Magazin-Lifts und setzen Sie das Magazin in die Grund-

platte des Lifts, so dass die Zentrierkerben der Wafer in die Maschine zeigen. Achten Sie da-

rauf, dass das Magazin richtig einrastet.

Abb. 5.2 - 1 Magazin einsetzen

5.2.1 Magazin-Lift aufschwenken und schließen

Für Servicearbeiten an Komponenten, die von oben her nicht zugänglich sind, ist es notwendig,

den Innenraum des SWS von der Vorderseite her zugänglich zu machen. Sehen Sie dazu die Ser-

viceanleitung SWS.

HINWEIS

Beim Einlegen der Wafer-Rahmen müssen die Aussparungen im Wafer-Rahmen in

Zuführrichtung liegen.

Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 5 Aufgaben am SWS

Ausgabe 02/2018 5.3 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten

5.3 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten

 Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manuelle Einstellungen -> Wafer Handling

Systeme und klicken Sie auf den Button Wechselposition anfahren.

Der Wafer-Tisch wird weggefahren.

 Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manuelle Einstellungen -> Die Handling Sys-

teme und wählen Sie die Registerkarte Ausstecheinheit.

 Klicken Sie auf den Button .

Das Ausstechsystem (Die Ejector) wird aufwärts gefahren, so dass es zugänglich ist.

 Öffnen Sie die seitliche Schiebehaube der SIPLACE CA4 V2.

VORSICHT

Beschädigungsgefahr!

Bei Verschiebung des Wafertisches von Hand kann das nach oben gefahrene

Ausstechsystem mit dem Wafertisch kollidieren und beschädigt werden.

 Verschieben Sie den Wafertisch nicht von Hand.

VORSICHT

Verletzungsgefahr durch die spitzen Nadeln

Es besteht Verletzungsgefahr durch die spitzen Nadeln am Ausstechsystem.