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3 Technische Daten und Baugruppen Betriebsanl eitung SIPLACE Wafer System (SWS) 3.3 Baugruppenübersichten Ausgabe 02/2018 68 3.3 Baugruppenübersichten 3 Abb. 3.3 - 1 Übersicht SWS 3 (1) Greifer (2 ) Flip-Unit (3) Einbaup…
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 3 Technische Daten und Baugruppen
Ausgabe 02/2018 3.2 Umweltbedingungen und Anschlusswerte
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3.2.6 Schwerpunkt des SWS
3
Abb. 3.2 - 2 Schwerpunkt des SWS
3
Schwerpunktkoordinaten:
SWS X-Koordinate
Y-Koordinate
0 mm
650 mm
3 Technische Daten und Baugruppen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
3.3 Baugruppenübersichten Ausgabe 02/2018
68
3.3 Baugruppenübersichten
3
Abb. 3.3 - 1 Übersicht SWS
3
(1) Greifer (2) Flip-Unit
(3) Einbauplatz für Optionen (Die-Attach Unit
oder LDU X)
(4) Die-Ejector
(5) Versorgungseinheit (6) XY-Unit
(7) Magazin-Lift
1
2
3
4
5
6
7
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Ausgabe 02/2018 3.3 Baugruppenübersichten
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3
Abb. 3.3 - 2 Versorgungseinheit des SWS von vorne
3
(1) Elektroeinschub vorne (2) Computereinheit
(3) Trafo (4) Druckschalter
(5) Netzfilter (6) Magnetventil
(7) Abdeckung
3
2
1
7
6
5
4