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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) 131 Klotz auf Klemmung montieren 6 Abb. 6.3 - 14 Wafer - Aufnahme - Klotz für Klemmung montieren Montieren Sie …
6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018
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Sensoren in die 12" Waferaufnahme einbauen
Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.
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Abb. 6.3 - 13 Wafer-Aufnahme - Sensoren montieren
Stecken Sie den Anschluss der Sensoren an.
Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen
Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)
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Klotz auf Klemmung montieren
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Abb. 6.3 - 14 Wafer-Aufnahme - Klotz für Klemmung montieren
Montieren Sie den Klotz (2) aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Klemmung (1).
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6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018
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Abdeckblech montieren (nur bei 12" Waferaufnahme)
Montieren Sie das Abdeckblech mit 4 Schrauben auf die Waferaufnahme.
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Abb. 6.3 - 15 Wafer-Aufnahme - Abdeckblech montieren
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