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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 5 Aufgaben am SWS Ausgabe 02/2018 5.1 Magazin befüllen 93 5 Aufgaben am SWS Dieses Kapitel enthält eine Anzahl von Themen, die Sie bei der täglichen Arbe it an einer SIPLACE-L…
4 Aufstellen und Inbetriebnahme Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
4.2 Infrastruktur des Aufstellungsorts Ausgabe 02/2018
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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 5 Aufgaben am SWS
Ausgabe 02/2018 5.1 Magazin befüllen
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5 Aufgaben am SWS
Dieses Kapitel enthält eine Anzahl von Themen, die Sie bei der täglichen Arbeit an einer
SIPLACE-Linie unterstützen sollen. So wird Ihnen z. B. Hilfestellung gegeben, wie Sie schon im
Vorfeld die notwendigen Maßnahmen treffen können, um die Maschinenstillstandszeiten zu mini-
mieren, sodass eine möglichst hohe Effizienz der SIPLACE-Linie bei der Produktion erreicht wird.
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5.1 Magazin befüllen
Befüllen Sie die Magazine mit den Waferrahmen so, dass die Zentrierkerben nach vorne, zur
Einschuböffnung zeigen.
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HINWEIS
Bestimungsgemäße Verwendung durch qualifiziertes Personal
Bei nicht bestimmungsgemäßer Verwendung können Gefahren für Leib und Leben und
Sachbeschädigungen auftreten.
Nur entsprechend qualifiziertes Personal darf die Maschine in Betrieb nehmen, be-
dienen oder sonstige Arbeiten am SIPLACE Wafer System durchführen. Weitere In-
formationen finden Sie dazu in Abschnitt 1.1.5
, Seite 14.
Die Qualifikation muss durch Schulungen oder Unterweisungen des Personals
nachgewiesen werden.Die Unterweisung hat durch von SIPLACE ausgebildetes
und autorisiertes Personal zu erfolgen. Eine Übersicht über Trainingskurse finden
Sie Abschnitt 1.3
, Seite 29.
HINWEIS
Achten Sie bei Verwendung von Frame-Adaptern für 4, 5 oder 7 Zoll Wafer darauf,
dass nur jeder zweite Slot verwendet werden darf.
5 Aufgaben am SWS Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
5.2 Magazin in den Magazin-Lift einsetzen Ausgabe 02/2018
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5.2 Magazin in den Magazin-Lift einsetzen
Fahren Sie den Magazin-Lift in die Magazin-Wechsel-Position, damit der Magazin-Lift auf
Höhe der Wechselposition ist.
Öffnen Sie die SWS Schiebetür des Magazin-Lifts und setzen Sie das Magazin in die Grund-
platte des Lifts, so dass die Zentrierkerben der Wafer in die Maschine zeigen. Achten Sie da-
rauf, dass das Magazin richtig einrastet.
Abb. 5.2 - 1 Magazin einsetzen
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5.2.1 Magazin-Lift aufschwenken und schließen
Für Servicearbeiten an Komponenten, die von oben her nicht zugänglich sind, ist es notwendig,
den Innenraum des SWS von der Vorderseite her zugänglich zu machen. Sehen Sie dazu die Ser-
viceanleitung SWS.
HINWEIS
Beim Einlegen der Wafer-Rahmen müssen die Aussparungen im Wafer-Rahmen in
Zuführrichtung liegen.