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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) 121 6.3.5.2 Einstellungen Abb. 6.3 - 5 Wafer - Aufnahme - Framebreite einstellen Lösen Sie an den vier Position…
6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018
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6.3.5 Rahmenbreite bei 8" Waferaufnahme einstellen
Bei den 8" Waferaufnahmen muss die Rahmenbreite des Wafers eingestellt werden. Bei 12" Wa-
feraufnahmen ist das nicht nötig.
Es können Wafer mit einer Rahmenbreite von 10,5" (FF 105) oder 10,8" (FF 108) verarbeitet wer-
den. Je nach Rahmenbreite müssen Sie mechanische Einstellungen an sieben Positionen vor-
nehmen.
6.3.5.1 Vorbereitungen
Beenden Sie alle laufenden Vorgänge am SWS-Modul.
Fahren Sie den Wafer-Tisch in die Wechselposition.
Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Wech-
selposition anfahren.
Öffnen Sie die Klemmung.
Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Wa-
fer-Klemmung öffnen.
– Die Klemmung wird geöffnet und der Expansionsring wird nach unten gefahren.
Öffnen Sie den Expander
Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Ex-
pander loslassen.
– Das Niederhalter-Blech wird nach oben gefahren.
Wählen Sie in der Ansicht Einstellungen -> Maschine herunterfahren.
SWS GUI und Linux werden ordnungsgemäß beendet. 6
Schalten Sie das SWS am Hauptschalter aus.
VORSICHT
Beschädigungen am Greifer vermeiden
Beim Arbeiten an der Waferaufnahme kann der Greifer beschädigt werden.
Schieben Sie den Greifer in Richtung Wafer-Lift und aus dem Arbeitsbereich der Wa-
feraufnahme.
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen
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6.3.5.2 Einstellungen
Abb. 6.3 - 5 Wafer-Aufnahme - Framebreite einstellen
Lösen Sie an den vier Positionen (1) die Schrauben und montieren diese in die gewünschte
Position (FF105 oder FF 108).
Entfernen Sie an der Position (2) die Schraube und montieren diese in die gewünschte Posi-
tion (FF105 oder FF 108).
Lösen Sie an der Position (3) die Schraube und bringen diese in die gewünschte Position
(FF105 oder FF 108).
Entfernen Sie an der Position (4) die Schraube und montieren diese in die gewünschte Posi-
tion (FF105 oder FF 108).
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6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018
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6.3.6 SWS Wafer Stretcher (Expander) umbauen
Um verschiedenen Wafergrößen (8" und 12") am SWS Wafer Stretcher (Expander) benutzen zu
können, müssen Sie den SWS Wafer Stretcher (Expander) umbauen.
Sie können den SWS Wafer Stretcher (Expander) auf die folgende Weise bestellen:
– 00519717-xx 12 inch Wafer Expander
und optional 6
– 03079734-xx 8 inch Retrofit Kit
oder
– 00519719-xx 8 inch Wafer Expander
und optional 6
– 00519720-xx 12 inch Retrofit Kit
Die nachfolgende Anleitung beschreibt den Wechsel von 8" auf eine 12" Waferaufnahme (siehe
auch “Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8” auf Seite 135).