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2-83 2 2 设置检出条件参数。 打开「检出条件」选项卡，设置下列参数。 检出条件选项卡 检查项目：测定高度 262A1-P9-00 X. 测定类型 选择「基准」 。 Y. 测定角度 指定测定高度时的激光高度感应器的角度。如指定为 AUTO，激光高度感应器会旋转后测定，使激光 的反射方向朝向元件之外。 C. 测定方法 选择高度测定值的计算方法。 ‧ 抽样 ： 以 1 处抽样值为高度。 ‧ 扫描最大高度 ： 以测定值的最大值为高度。 …
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8.13 测定高度 ( 选配 )
此检查项目，通过激光高度感应器测量检查对象物的高度，并判定是否在规格范围内。「测定高度」检查项目，是
将基板面作为基准测定后，再测定检查对象位置的高度，将两者之间的相对高度作为要判定的高度。详细内容，
参阅操作者手册卷末的「激光高度感应器」。
1
设置测定基准高度用的检查对象。
1. 创建检查对象。
2. 将检查项目设置为「测定高度」。
参考
检查对象框的创建方法，参照本章前述「7.1 设置检查对象的基本步骤」。
检查项目
测定高度
设置「高度测定」
262A0-P9-00
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2
设置检出条件参数。
打开「检出条件」选项卡，设置下列参数。
检出条件选项卡
检查项目：测定高度
262A1-P9-00
X. 测定类型
选择「基准」。
Y. 测定角度
指定测定高度时的激光高度感应器的角度。如指定为 AUTO，激光高度感应器会旋转后测定，使激光
的反射方向朝向元件之外。
C. 测定方法
选择高度测定值的计算方法。
‧
抽样 ：以 1 处抽样值为高度。
‧
扫描最大高度 ：以测定值的最大值为高度。
‧
扫描平均高度 ：以测定值的平均值为高度。
‧
扫描最小高度 ：以测定值的最小值为高度。
3
创建测定高度用的检查对象框。
选中测定基准高度用的检查对象，用 [ 复制 ] 和 [ 插入粘贴 ] 按钮添加检查对象后，将添加的检查对象移
至要测定的位置。
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设置检出条件参数。
打开「检出条件」选项卡，设置下列参数。
X. 测定类型
将测定类型改为「点测定法」或「线测定法」。
‧
点测定法
测定检查对象的中心坐标位置的高度。
‧
线测定法
沿检查对象长方向的中心线测定高度，以所测最大高度为测定值。
Z. 移动间距 (mm)
如「X. 测定类型」的设置为「线测定法」时，设置测定高度时要移动的间距。
a. 重试
如测试结果为「NG」时，将激光高度感应器旋转 180 度后重新执行测试。
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设置判定条件参数。
打开「判定条件」选项卡，在「r. 最小偏移量 (mm)」、「s. 最大偏移量 (mm)」中输入偏移量。如没有确定
规格时，可以参考高度测定的结果确定最小值 / 最大值。
判定条件选项卡
检查项目：测定高度
262A2-P9-00
r. 最小偏移量 (mm)
如基准检查对象的测定高度与用点测定法或线测定法测定的高度之差小于此最小偏移量时，被判定为
不良。设置为「SKIP」时，则不判定。
s. 最大偏移量 (mm)
如基准检查对象的测定高度与用点测定法或线测定法测定的高度之差大于此最大偏移量时，被判定为
不良。设置为「SKIP」时，则不判定。
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要点
以 Step1 中创建的检查对象的位置为基准创建所有要测定的检查对象。选择在 step5 中设置的检查对象后，用 [ 复制 ] 和 [ 插入粘贴 ]
按钮添加检查对象，再将添加的检查对象移至测定点。
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对测定高度用的检查对象执行测试。
1. 选择测定高度用的检查对象，按 [ 对象测试 ] 按钮。
2. 确认测试结果后，按 [ 结束测试 ] 按钮。
3. 根据测试结果，修改「检出条件」和「判定条件」参数。