YSi_Prog_C.pdf - 第180页
3-16 3 2.3 登录基板基准标记 以下，介绍基板基准标记的登录方法。详细内容，参照前述第 2 章「4. 基准标记的登录」 。 1 打开 [ 数据编辑 ]-「登录基准标记」选项卡。 [数据编辑] -「登录基准标记」画面 Step2 Step3 Step5 Step9 Step6 Step8 Step4 Step13 Step7 Step12 Step1 1 Step14 Step10 26319-P9-00 2 从「基板」选项卡的…
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2.2 创建基板整体图像
以下，介绍基板整体图像的创建方法。
1
将基板放置在传送轨上。
按 [ 更换基板 ] 按钮，传入基板。
2
打开 [ 数据编辑 ]-「基板」选项卡。
3
按 [ 执行 ] 按钮，开始拍摄基板图像。
按照基板尺寸，拍摄并保存基板整体图像。
基板整体图像的创建
[执行]按钮
26318-P9-00
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2.3 登录基板基准标记
以下，介绍基板基准标记的登录方法。详细内容，参照前述第 2 章「4. 基准标记的登录」。
1
打开 [ 数据编辑 ]-「登录基准标记」选项卡。
[数据编辑] -「登录基准标记」画面
Step2 Step3
Step5
Step9
Step6
Step8
Step4 Step13
Step7
Step12
Step11
Step14
Step10
26319-P9-00
2
从「基板」选项卡的下拉框中选择「执行」。
3
选择校正方法。
读入的数据中基准标记为 2 个时，选择「2 点校正」；为 3 个时，选择「3 点校正」。
4
选择基准标记「1」。
在画面右上的标记列表中点击 X1 或 Y1 的坐标栏。
5
按[移动]按钮。
6
从标记类型中选择基准标记。
从下拉框中选择基准标记。根据需要输入标记名。
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3
7
设置基准标记参数。
在画面右下的基准标记参数列表中设置以下参数。
A. 识别类型
选择形状识别。
B. 照明类型
在 Step8 中设置。
D. 标记检出范围
设置查找标记的范围大小。
E、F. 亮度增益、亮度偏移
所设定的值必须使基板上的标记清晰可见。
‧
亮度增益，是为使标记易于确认而调亮标记。
‧
亮度偏移，是为强调标记而调暗整个画面。
8
按 [ 照明列表 ] 按钮，选择清晰的图像。
按 [ 照明列表 ] 按钮，显示「图像列表」画面。从画面中选择标记清晰可见的图像，按 [ 应用 ] 按钮。
应用后自动返回「登录基准标记」画面。
参考
如在「图像列表」画面的照明下基准标记无法清晰可见时，可以使用「CUSTOM」照明。设置方法，参照前述第 2 章「4.2 基准标
记 CUSTOM 照明的设置」。
9
设置界限值。
按 [ 彩色 ] 按钮，移动界限值滑动条，使只有标记显示为红色。
0
按 [ 自动计算 ] 按钮。
q
拖动鼠标，框住标记。
拖动鼠标框住要登录的标记后，按设置的识别类型自动进行测量。
测量结束后，各项参数自动被设置，并测试是否可以检出标记。
w
按 [ 结束测试 ] 按钮，结束测试。
测试结果为「NG」时，必须重新操作 Step7 以后的步骤。
参考
识别标记正常结束时，会在下侧标记画面的左上方显示识别坐标。此时，如按 [ 创建 ] 按钮，可以将识别坐标作为基准标记登录。
如所输入的是设计坐标，切勿按 [ 创建 ] 按钮。
e
根据需要，登录标记 2 和标记 3。
按照与标记 1 相同的步骤登录标记 2、标记 3。
r
按 [ 保存 ] 按钮，保存检查程序。