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4-30 Tg1299-ID-PM 0607-002 4.2 “ 基板認識カメラ ” タブ • シートの構成 [1] 基板認識カメラオフセット 基板認識カメラの中心位置とテーブルシュートの中心位置の各 軸の距離と角度差について、設定値に対して変更する値を入力 します。 基板認識カメラ 基板原点 基板 テーブル原点 テーブルセンタ 171 Fig.3D31 ノート “ テンキー ” 画面を表示して、オフセット量を入力します。 [2] 基板…
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Tg1299-ID-PM
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4.2 “ 基板認識カメラ ” タブ
4.2 “ 基板認識カメラ ” タブ
基板認識カメラのオフセット量、倍率、および基板認識マークの明
るさ、濃淡差を設定します。
•
シートの表示
“ オフセットデータ
” サブメニューバーの [ 基板認識カメラ ] タブ
を押すと、以下のタブシートが表示されます。
[1]
[2]
[3]
[4]
Fig.3D30 “ 基板認識カメラ ” タブシート
4-30
Tg1299-ID-PM
0607-002
4.2 “ 基板認識カメラ ” タブ
•
シートの構成
[1] 基板認識カメラオフセット
基板認識カメラの中心位置とテーブルシュートの中心位置の各
軸の距離と角度差について、設定値に対して変更する値を入力
します。
基板認識カメラ
基板原点
基板
テーブル原点
テーブルセンタ
171
Fig.3D31
ノート
“ テンキー ” 画面を表示して、オフセット量を入力します。
[2] 基板認識カメラ倍率
基板認識カメラの倍率を設定します。
ノート
テンキー ” 画面を表示して、X および Y 方向で１ピクセル当り
の距離（単位：
µ
m）を入力します。
[3] 基板認識マーク
基板認識マークの明るさと濃淡差（コントラスト）を設定します。
ノート
“テンキー”画面を表示して、“ゲイン”値と“レベル”値を
入力します。
ゲイン ： コントラストを変える増幅率です。大きくするとコ
ントラストが大きくなります。
レベル ： 明るさを変える増幅率です。大きくすると画面が明
るくなります。
[4] 自動ゲインレベルモード
自動ゲインレベル調整のモードを設定します。
コントラスト重視では、コントラストがはっきりした画像を得
ることを重視したゲインでレベルを求めます。
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4.3 “ スクリーン認識カメラ ” タブ
スクリーン認識カメラのオフセット量、倍率、およびスクリーン認
識マークの明るさ、濃淡差を設定します。
•
シートの表示
“オ
フセットデータ”サブメニューバーの [スクリーン認識カメラ]
タブを押すと、以下のタブシートが表示されます。
[1]
[2]
[3]
[5]
[4]
Fig.3D32 “ スクリーン認識カメラ ” タブシート
0602-001
4.3 “ スクリーン認識カメラ ” タブ