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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3-5 (1) 管道系统图(主机) φ 12 工程配管 过滤器 调节器 雾分离 压力开关 压力表 复式接头 (注射器) φ 6 φ 8 φ 8 φ 6 φ 6 φ 4 φ 6 贴片头单元 干式气缸 20L F 干式气缸 20R F 󱝏󰣩󰂧 F 后备气缸 R BU 交换台 ( 选项 ) 带电磁阀的复式接头 传送螺线管 φ 4 φ 4 φ 4 φ 4 φ 4 AE/E 阀 AE/E 阀 φ 4 …

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1 基本篇 3 维护
3-4
1) 请确认没有漏气
1) 主机接通电源后,请选择「手动控制」项目,检查下列各项目的动作状况。
基板挡销部
ATC 单元
手动控制
在确认各项动作、检查传感器的开/关情况时,执行手动控制模式。
有关手动控制的详细内容,请参见「第 8 章 手动控制」
2) 如若动作有问题,请参考下页「管道系统图」进行检查。
检查项目
3-2-3 管道及接头
实施频度 :每周
检查内容 检查气压管道部分是否漏气
检查项目
3-2-4 各单元汽缸
实施频度 :每周
检查内容 检查各汽缸的动作
检查漏气
<右側面奥側>
フィンガバルブ
<右侧后侧>
销阀
在主画面上选择
显示手动控制模式。
1 基本篇 3 维护
3-5
(1) 管道系统图(主机)
φ
12
工程配管
过滤器 调节器
雾分离
压力开关
压力表
复式接头
(注射器)
φ
6
φ
8
φ
8
φ
6
φ
6
φ
4
φ
6
贴片头单元
干式气缸 20L F
干式气缸 20R F
󱝏󰣩󰂧 F
后备气缸 R
BU 交换台
(
选项
)
带电磁阀的复式接头
传送螺线管
φ
4
φ
4
φ
4
φ
4
φ
4
AE/E
AE/E
φ
4
φ
4
(
󲡶󲺤󲔽IN
)
基板固定
挡块 2
挡块 1
φ
4
(
选项
)
φ
4
φ
4
φ
4
(
󲡶󲺤󲔽IN
)
AE/E
φ
4
φ
4
(
选项)
挡块 3
φ
6
1 基本篇 3 维护
3-6
(2)管道系统图(贴片头)
Blow-Sw
P
φ8
Vac-Sw
エジェクタ
フィルタ
圧力センサ
ノズル
喷射泵
φ
8
过滤器
压力传感器
吸嘴