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机器控制参数 2- 35 2-2-2 X 轴 PTP 动作 以外 如 将“ 轴号” 、 “动作区分 ” 设置为欲编辑的索引 , 即可对所设定的区分中的轴控制 参数进行编辑。 设定项目 2-2-2- 1 No. 项目 输入范围 单位 备考 最小值 最大值 1 轴号 参照 2-2-2-2 轴号 2 1 脉冲的 XY 轴分辨率 nm/Pulse 3 PTP 动 作以外 数据 动作区分 0 19 参照 2-2-2-3 动作区分 4 轴控制 参数…

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机器控制参数
2-34
轴号
2-2-1-2
速度区分
2-2-1-3
行程区分
2-2-1-4
No.
类别
内容
1 0 X 1
No.
类别
内容
1 0 高速
2 1 中速
3 2 低速
4 3 低速2
5 4 高速2
6 5 高速B
7 6 高速2B
8 79 预备
No.
类别
内容
1 0 s <= 1mm
2 1 1mm < s <= 2mm
3 2 2mm < s <= 4mm
4 3 4mm < s <= 10mm
5 4 10mm < s <= 20mm
6 5 20mm < s <= 40mm
7 6 40mm < s <= 70mm
8 7 70mm < s <= 110mm
9 8 110mm < s <= 160mm
10 9 160mm < s
11 1019
预备
机器控制参数
2-35
2-2-2
XPTP动作以外
将“ 轴号”“动作区分设置为欲编辑的索引即可对所设定的区分中的轴控制参数进行编辑。
设定项目
2-2-2-1
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 轴号 参照2-2-2-2轴号
2 1脉冲的XY轴分辨率 nm/Pulse
3
PTP
作以外
数据
动作区分 0 19 参照2-2-2-3动作区分
4
轴控制
参数
加速度 G
5 减速度 G
6 最高速度 mm/sec
7 S字比率
机器控制参数
2-36
轴号
2-2-2-2
动作区分
2-2-2-3
No.
类别
内容
1 0 X 1
No.
类别
内容
1 0 打开安全盖
2 1 JOG基础属性
3 2 单步
4 3 返回原点
5 4 共面低速扫
6 5 共面高速扫
7 6 共面分割移
8 7 共面高速扫2
9 8 ATC滑进动作
10 9 ATC滑出动作
11 10 SVC扫描1
12 11 SVC扫描2
13 12 SVC扫描3
14 13 SVC扫描4
15 14 SVC扫描5
16 1519 预备