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机器控制参数 2- 35 2-2-2 X 轴 PTP 动作 以外 如 将“ 轴号” 、 “动作区分 ” 设置为欲编辑的索引 , 即可对所设定的区分中的轴控制 参数进行编辑。 设定项目 2-2-2- 1 No. 项目 输入范围 单位 备考 最小值 最大值 1 轴号 参照 2-2-2-2 轴号 2 1 脉冲的 XY 轴分辨率 nm/Pulse 3 PTP 动 作以外 数据 动作区分 0 19 参照 2-2-2-3 动作区分 4 轴控制 参数…

机器控制参数
2-34
轴号
2-2-1-2
速度区分
2-2-1-3
行程区分
2-2-1-4
No.
类别
内容
1 0 X轴 1
No.
类别
内容
1 0 高速
2 1 中速
3 2 低速
4 3 低速2
5 4 高速2
6 5 高速B
7 6 高速2B
8 7~9 预备
No.
类别
内容
1 0 s <= 1mm
2 1 1mm < s <= 2mm
3 2 2mm < s <= 4mm
4 3 4mm < s <= 10mm
5 4 10mm < s <= 20mm
6 5 20mm < s <= 40mm
7 6 40mm < s <= 70mm
8 7 70mm < s <= 110mm
9 8 110mm < s <= 160mm
10 9 160mm < s
11 10~19
预备

机器控制参数
2-35
2-2-2
X轴PTP动作以外
如 将“ 轴号”、“动作区分”设置为欲编辑的索引,即可对所设定的区分中的轴控制参数进行编辑。
设定项目
2-2-2-1
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 轴号 参照2-2-2-2轴号
2 1脉冲的XY轴分辨率 nm/Pulse
3
PTP动
作以外
数据
动作区分 0 19 参照2-2-2-3动作区分
4
轴控制
参数
加速度 G
5 减速度 G
6 最高速度 mm/sec
7 S字比率

机器控制参数
2-36
轴号
2-2-2-2
动作区分
2-2-2-3
No.
类别
内容
1 0 X轴 1
No.
类别
内容
1 0 打开安全盖
2 1 JOG基础属性
3 2 单步
4 3 返回原点
5 4 共面低速扫描
6 5 共面高速扫描
7 6 共面分割移动
8 7 共面高速扫描2
9 8 ATC滑进动作
10 9 ATC滑出动作
11 10 SVC扫描1
12 11 SVC扫描2
13 12 SVC扫描3
14 13 SVC扫描4
15 14 SVC扫描5
16 15~19 预备