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机器控制参数 2- 83 2-3-4 设定传送规格 如将 “速度区分” 设置为欲编辑的索引， 即 可对所设置的区分的 “传送 缓冲 区移动监视时间 ” 、“ 传 送控制时传感器 ON → OFF 监视 时间”进行编辑。
机器控制参数
2-82
动作区分
2-3-3-2
No.
类别
内容
1 0 PTP动作
2 1 JOG基础属性
3 2 单步
4 3 返回原点（查找HOME）
5 4 返回原点（查找Z相）
6 5 （双）基准轨道PTP动作
7 6～9 预备
机器控制参数
2-83
2-3-4
设定传送规格
如将“速度区分”设置为欲编辑的索引，即可对所设置的区分的“传送缓冲区移动监视时间” 、“ 传
送控制时传感器
ON→OFF监视时间”进行编辑。
机器控制参数
2-84
设定项目
2-3-4-1
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1
传送监视
时间
速度区分 0 9
参照
2-3-4-2速
度区分
2 传送缓冲区移动监视时间 0 65535
3
传送控制时传感器 ON→OFF 监
视时间
0 65535
4 缓冲器选择器 动作监视时间
5 传送真空台
6 支撑销检测传感器检索ON时间
7 支撑销检测传感器检索OFF时间
8 重新夹紧控制时的HMS检测监视时间
9 重夹的STOP OFF检测时间
10 重夹的中心马达开始DELAY时间
11 减速传感器为ON后支撑台开始上升的时间
12 夹紧气缸上升时间
13 基板停止时间调整值
14 300mm以下基板的C-OUT传感器ON延迟 300000 3000000 1/10000mm
15 设定重新夹紧短尺基板时的待机基板间距 100000 1000000 1/10000mm
16 HMS夹紧阀值 不可更改
17 HMS夹紧时的HMS偏移量
速度区分
2-3-4-2
No.
类别
内容
1 0 高速
2 1 中速
3 2 低速
4 3 预备进给(16mm/s)
5 4 高速2
6 5 预备进给(56mm/s)
7 6 输送对接高速
8 7 输送对接中速
9 8 输送对接低速
10 9 输送对接高速2