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第 1 部 基 本篇 第 3 章 维护 3-46 ● 真空泵分解图 No. 名称 No. 名称 1 内六角螺栓（ M6×95 ） 8 根 10 气缸密封圈 2 泵头盖 1 1 1 气缸 3 连接管 12 内六角螺栓（ M8×20 ） 4 Ｏ环 P-10 13 碗型密封圈压板 5 泵头盖 2 14 碗型密封圈 6 密封圈 15 连杆 7 阀挡板 8 吸排气阀 9 气缸板
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-45
●更换碗型密封圈
1） 拆下气缸。
2） 拆下内六角螺栓(M8×20)。
3） 拆下碗型密封圈压板，更换新的碗型密封圈。
请注意碗型密封圈的方向。要套进连杆。
4） 更换后，以 12.0N・m 的力拧紧内六角螺栓(M8×20)。
※请按照密封材料更换步骤实施盖（罩）的安装。要更换其它消耗部件时，请不要关闭盖（罩），参
照各部位的更换步骤操作。
碗型密封圈压板
内六角螺栓(M8×20)
碗型密封圈
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-46
●真空泵分解图
No. 名称 No. 名称
1 内六角螺栓（M6×95）8 根 10 气缸密封圈
2 泵头盖 1 11 气缸
3 连接管 12 内六角螺栓（M8×20）
4 Ｏ环 P-10 13 碗型密封圈压板
5 泵头盖 2 14 碗型密封圈
6 密封圈 15 连杆
7 阀挡板
8 吸排气阀
9 气缸板
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
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3-9 管道系统图
（1）管道系统图（主机）
a-（正气压）
工厂气压
插头
指状阀
气源处理联件
多支管
减压器
减压器
减压器
插头φ8
正压计
Y三通接头
Head上升气缸
异形接头
调压器
异形接头
HEAD 正压
传送电磁阀
插头φ4
减压弯头
减压弯头
插头φ8
插头φ8
插头φ8
Y三通接头
MTS_IF面板
驱动气缸
前侧
Y三通接头
Y三通接头
台架升降机(OP)
切带器（OP）
Y三通接头
Y三通接头
【OUT】
【IN】
直通接头
直通接头
直通接头
直通接头
XP l a rai l
XP l a rai l
YPlarail
YPlarail
Y三通接头
ATC
CAL
减压弯头
车间推车气压
前侧
车间推车气压
后侧
驱动气缸
后侧
（OP）
（OP）