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第 2 部 功能详解篇 第 7 章 机器设置 7-61 7-5-3 移至任意坐标的操作 (1) 移动 XYZ 选择要控制的轴的种类 [XY 轴控制 ] 、 [Z 轴控制 ] ，按下「执行 」 按钮，即可把轴移至任意的指 定坐标位置。 (2) 速度 选择要控制的轴的种类 [XY 轴控制 ] 、 [Z 轴控制 ] 、 [ θ 轴控制 ] ，按 下 [ 执行 ] 按钮， 即可按指定的 速度移动轴。 (3) θ 旋转 轴的种类选中 [ θ 轴控…
第 2 部 功能详解篇 第 7 章 机器设置
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(3)
θ 轴控制
控制单元选中[Head]时，可移动 θ 轴。
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7-5-3 移至任意坐标的操作
(1) 移动 XYZ
选择要控制的轴的种类[XY 轴控制]、[Z 轴控制]，按下「执行」按钮，即可把轴移至任意的指
定坐标位置。
(2)
速度
选择要控制的轴的种类 [XY 轴控制]、[Z 轴控制]、[θ 轴控制]，按 下[执行]按钮，即可按指定的
速度移动轴。
(3)
θ 旋转
轴的种类选中[θ 轴控制]，按下[执行]按钮后，θ 轴即可按指定的角度进行旋转。
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7-5-4 单元 1
可对指定的Head单元的真空、吹气、 OCC、 BMR、 HMS、锁定罩盖、 ATC进行控制。
※ 从「Head 的吸嘴有无状况」启动简易控制画面后，只能控制 ATC 滑板的开关项目。
(1) OCC
执行垂直照明、角度照明、外圈照明、校准台照明的开关控制。
可转换正、负极性。
(2) BMR
、HMS
可执行 HMS、BMR 的传感器开关控制。
(3)
锁定罩盖
可执行前/后的 「锁定罩盖 ON/OFF」。
(4) ATC
滑板
可执行 ATC 滑板的[开/关]控制。