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第 2 部 功能详解篇 第 7 章 机器设置 7-62 7-5-4 单元 1 可对指定的 Head 单元的真空、吹气、 OCC 、 BMR 、 HMS 、锁定罩盖、 AT C 进行控制。 ※ 从「 Head 的吸嘴有无状况 」 启动简易控制画面后,只能控制 AT C 滑板的开关项目。 (1) OCC 执行垂直照明、角度照明、外圈照明、校准台照明的开关控制。 可转换正、负极性。 (2) BMR 、 HMS 可执行 HMS 、 BMR 的传…

第 2 部 功能详解篇 第 7 章 机器设置
7-61
7-5-3 移至任意坐标的操作
(1) 移动 XYZ
选择要控制的轴的种类[XY 轴控制]、[Z 轴控制],按下「执行」按钮,即可把轴移至任意的指
定坐标位置。
(2)
速度
选择要控制的轴的种类 [XY 轴控制]、[Z 轴控制]、[θ 轴控制],按 下[执行]按钮,即可按指定的
速度移动轴。
(3)
θ 旋转
轴的种类选中[θ 轴控制],按下[执行]按钮后,θ 轴即可按指定的角度进行旋转。

第 2 部 功能详解篇 第 7 章 机器设置
7-62
7-5-4 单元 1
可对指定的Head单元的真空、吹气、 OCC、 BMR、 HMS、锁定罩盖、 ATC进行控制。
※ 从「Head 的吸嘴有无状况」启动简易控制画面后,只能控制 ATC 滑板的开关项目。
(1) OCC
执行垂直照明、角度照明、外圈照明、校准台照明的开关控制。
可转换正、负极性。
(2) BMR
、HMS
可执行 HMS、BMR 的传感器开关控制。
(3)
锁定罩盖
可执行前/后的 「锁定罩盖 ON/OFF」。
(4) ATC
滑板
可执行 ATC 滑板的[开/关]控制。

第 2 部 功能详解篇 第 7 章 机器设置
7-63
7-5-5 单元 2
可进行MTS托盘控制、传送控制。
(1) 托盘段数
指定控制托盘的层数。
(2) 速度
指定托盘拉出时的速度。
(3) 取出
拉出托盘。
(4) 存储
执行托盘存储。
(5) 取/存
如托盘处于已取出的状态下,执行托盘存储。
如托盘处于已存储的状态下,则执行托盘取出。
(6) 搬送制御
可进行停止挡销[ON / OFF]、夹紧杆[ON / OFF]、支撑台[UP / DOWN]控制。
按下[自动调整基板宽度]按钮后,会显示基板宽度调整画面。
选择[传送控制]按钮,即显示基板传送主画面。(当自动调整基板宽度选项有效时,可选择此项。)