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1. 使用張計測Z軸時規皮帶(TIMMIMG BELT)張(TENSION)是
否正常。
2. 機構測試模式開機
(MECHANICAL CHECK MODE →3+RESET+POWER ON)
a. 進入I/O將SHUTER 1/2開至UP POSITION。
b. Z-AXISX-AXISY-AXIS歸後,以手控移動方式
(INCHING)將X/Y TABLE移到中間位置。
3. 架設錶,調整A/B/C三個方向呈平
a. 使用專用扳手將堡型帽拆除。
b. 使用角扳手調整桿,使測點達成平
c. 使用角扳手與堡型帽專用扳手,將堡型帽固定。
P.S:升平台中央變形量不可超過0.2m/m。
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