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２．点検 ２ - ４ 手動動作による点検 マウンタの電源（Main スイッチと Power スイッチ）を投入後に行ってください。 マウンタの状態および運転動作が正常でない場合、エラーメッセージが表示されます。 項目 内容 Power ス イッ チ ・システムを起動し、メニュー画面の表示が正常であるかを確 認する。 Servo スイ ッチ ・押したら点灯することをを確認する。点灯しなければシステ ムを終了し、再度立ち上げてみる。 EMER…
２．点検 ２-３
MX-20 (オプション) ・パレット上に不要物のないことを確認する。
MX-ST2 (オプション) ・パレット上に不要物のないことを確認する。
入出力端子盤 ・コネクタ、エアホースの接続を確認する。
２．点検 ２-４
手動動作による点検
マウンタの電源（Main スイッチと Power スイッチ）を投入後に行ってください。
マウンタの状態および運転動作が正常でない場合、エラーメッセージが表示されます。
項目 内容
Power スイッチ
・システムを起動し、メニュー画面の表示が正常であるかを確
認する。
Servo スイッチ
・押したら点灯することをを確認する。点灯しなければシステ
ムを終了し、再度立ち上げてみる。
EMERGENCY STOP
非常停止スイッチ
・機能の確認を行う。
原点復帰
・原点取り動作が正常であるか確認する。
ジョグ動作
・X、Y、Z、θ、S 軸を移動させる。座標表示と動作時に異音
がないことを確認する。
吸着動作
・吸着力の確認を行う。
コンベア
・基板を流して動作を確認する。
ストッパ
・動作確認を行う。
クランプ
・動作確認を行う。
ANC
・動作確認を行う。
ヘッド
・動作確認を行う。
DI/DO チェック
・動作確認を行う。
２．点検 ２-５
月ごとの点検
月に１回、以下の点検を行ってください
項目 内容
CRT ・画面が汚れていればアルコールで清掃する。
フロッピーディスクドライ
ブ
・フロッピーディスクドライブのヘッドの清掃を市販のクリーニ
ングディスクを使って行う。
Ｘ－Ｙテーブル ・Ｘ、Ｙ軸を移動させてボールネジ、リニアボールガイドから
の異音がないことを確認する。
ケーブル ・ケーブルベア、ケーブル固定用のビスにゆるみがないことを
確認する。
・ケーブルベア内の付設ケーブルのフォームの乱れ、かすり
キズ等がないことを確認する。
コネクタ ・各コネクタにゆるみがないことを確認する。
エアーホース ・各エアーホースのフォームおよび固定部分、ジョイント部分
に異常がないことを確認する。
・エア漏れがないかチェックをする。
X-Y モータ ・Ｘ、Ｙ軸モータの温度（ケースを手で触ってみる）が異常に
熱くないことを確認する。
オーバーラン警報 ・Ｘ、Ｙ軸ともオーバーランさせてみて、直ちに警報を発しヘ
ッドが停止することを確認する。警報の解除後、ジョグ（原
点復帰操作ではない）により、ヘッドの移動ができることを
確認する。
θモータ ・回転させてみて伝達ベルト、歯車にキズ等がないこと、干渉
する部分がないこと、保持トルク（励磁トルク）が十分である
ことを確認する。
Zモータ ・ヘッドをアップ・ダウンさせて、動きがスムーズなことを確認
する。ノズルのエスケープが円滑なことを確認する。上下方
向にオーバーランさせて、警報および停止の機能を確認す
る。
スキャン軸モータ ・スキャンカメラを移動させ、その動きがスムーズなことを確認
する。
吸着オン・オフ ・各々ヘッドについて吸着圧の確認をする。適正値でないと
きは、ノズルシャフトの清掃を行う。フィルタ（バキュームエ
ジェクタ）が汚れていれば交換する。
コンベア ・コンベアの動作を確認する。ベルトのテンションを確認す
る。ベルトのキズ、摩耗を確認する。ベルト搬送経路にチッ
プ部品など異物の混入がないことを確認する。コンベアの
幅調整（広狭限度まで）の動きと、出入り口の各点での平行
度および基板の前後工程間の乗り移りを確認する。