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SPG EJP6AC-MB-0 5TS-0 0 A R4117 R4114 R4144 R4145 R4114 箭头图 A 清洁 : 吹气规格 基板吸着 : 真空泵规格 清洁 : 喷射规格 基板吸着 : 真空泵规格 5-1 -4 负 荷 配 置 表
SPG EJP6AC-MB-05TS-00
A
C
B
箭头图A 箭头图B
箭头图C
K404
K405
K406
K401
K403
K402 G201
R5001
F4112
F4116
F4134
F4115
F4136
F4110
R4137
R4144
简易基板吸着规格
5-1-3
负荷
配置图
负荷配置图 2
故障排除篇
5-1
设备部
SPG EJP6AC-MB-05TS-00
A
R4117
R4114
R4144
R4145
R4114
箭头图A
清洁: 吹气规格
基板吸着: 真空泵规格
清洁: 喷射规格
基板吸着: 真空泵规格
5-1-4
负
荷
配
置
表
SPG EJP6AC-MB-05TS-00
B1B42
M621
B1B41
B1132
B1133
B1C30
M636
B1126
B1127
M401
5-1-5
M631
B1C01
B1C00
B1113
B1117
B1C40
B1124
B1112
M635
M635 M402
M403
负荷
配置图
负荷配置图 3
故障排除篇
5-1
XY工作台
基板定位升降机
前面 后面