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2 错误对策 -1 错误提示 -1-1 错误提示一览表的确认方法 -1-2 SD卡使用时的错误 -1-3 自我诊断错误 -1-4 单一停止错误 -1-5 紧急停止错误 -1-6 紧急停止的轴错误 -1-7 文件操作错误 -1-8 驱动器错误 -2 获取错误记录的方法 T r oubleshooting
SPG EJP6AJ-MB-01TS-00
基板识别错误
基板识别标记数据
的异常
确认、修改基板识别数据（形状指
定）。
基板识别标记有污
垢
伺服开关置于OFF后,取出基板并
清扫识别标记。
基板传送错误
基板夹具状态不良
无法检测基板（传
感器位置和基板缺
口位置重叠）
传送带的基板检测
传感器无法检测基
板（检测位置有缺
口、缝隙）
确认、修改基板数据。
在基板定位数据,修改挡块碰触位置。
请与本公司联络。
传送皮带或导轨有
污垢
-
出现此
情况时
故障排除篇
1-1-3
故障种类
现象 原因 对策 参照
操作篇
4-2
‐
操作篇
4-1-1
操作篇
4-1-4
提高夹具压。（以基板不弯曲为宜）
操作篇
4-1-4
清扫传送皮带、导轨。
（目视确认后,用棉纱布擦去污垢。）
没有基板,但传送带
的基板检测传感器
却成为检测出状态。
将基板定位数据支撑单元的行程
设定为“有（大）”。设定缺口量。
将挡块调整到不会感应出支撑单元
的位置。
基板排出故障
基板夹具不良
确认、修改基板数据。
确认后工程要求信号的输出。
在基板排出等待时
间内,后工程基板要
求信号不能变为
OFF
确认、修改基板排出等待时间。
-
提高夹具压。（以基板不弯曲为宜）
确认后工程和连接部的传送带是否
发生偏移。
清扫传送皮带、导轨。
基板滞留在传送带
上
基板传送错误
（基板粘贴在网板背
面
）
1-1-3
维修保养篇
3-4-2
操作篇
4-1-4
操作篇
4-1-4
操作篇
4-1-4
操作篇
5-3-6
维修保养篇
3-4-2
2
错误对策
-1
错误提示
-1-1
错误提示一览表的确认方法
-1-2
SD卡使用时的错误
-1-3
自我诊断错误
-1-4
单一停止错误
-1-5
紧急停止错误
-1-6
紧急停止的轴错误
-1-7
文件操作错误
-1-8
驱动器错误
-2
获取错误记录的方法
Troubleshooting
SPG EJP6AC-MB-02TS-01
错误信息
[Error Code]
地址
错误原因 检查和对策 参照
＜类型 1＞
错误提示
2-1-1
＜类型 2＞
错误提示
[错误提示代码No.]
地址
以下对错误提示一览表的确认方法进行说明。设备使用中发生错误时,请确认画面上显示的错误提示,并对照
2-1-2以后所记载的错误提示一览表进行检查和采取对策。
另外,在进行检查和采取对策时,如果需要把手伸入机器运转部时,请务必将伺服开关设置为OFF。
错误原因
处理方法
参考内容
●记载具体对策方法的
项目编号
警告
将手伸入可动部进行调整作业时,请必须将
伺服开关置于OFF
机器会运转,可能受伤。
错误提示
故障排除篇
2-1-1
错误提示一览表的确认方法
Ref. page
格式异常
[64024]
错误信息
[Error Code]
错误原因 检查和对策 参照
未格式化。
(格式异常)
通过操作文件进行SD卡
的初始化
。
操作篇
1-5
2-2-7
热断路装置真
空泵跳闸检测
[1898]
真空泵的热开关检测出过电
流。
请解除断开原因,重新开
始运转。详细信息请参阅
维护手册
。
故障排除
篇
3-1-7
环I/O
0040:Bit1