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SPG EJP6AC-MB-0 2TS-0 1 热断路装置真 空泵跳闸检测 [1898] 真空泵冷却风 扇警报检测 [1897] 基板止动器上 升检测联锁错 误 [1776] 错误信息 [Error Code] 地址 错误原因 检查和对策 参照 轴动作中 , 因基板止动器上升 检测传感器 ( 输入 I/O:NO.11) 没有在 ON 的状态。基板止动 器一直保持在下降的状态。 [ 传感器 No] B1F03 [ 电子管 No] R411…
SPG EJP6AC-MB-02TS-01
止动器弹出错
误
[1407]
基板吸着错误
[1116]
印压数据异常
[1109]
错误信息
故障排除篇
2-1-5
紧急停止错误 3
错误信息
[Error Code]
地址
错误原因 检查和对策 参照
通过数据编辑,设定了高印压
时会出现此错误。
(所设定的印压超过了硬件的
容许范围。)
请重新设定印压数据,使
其变低。请重新进行印压
自动示教。
操作篇
4-1-9-11
4-2-7
━
可能是基板位置偏离或者基
板吸着传感器破损或断线。
(基板不能吸着。)
[传感器 No]
B1142
当进行基板定位时,请确
认基板的位置是否偏离
。
另外,请确认基板吸着传
感器的连线状态或是否有
破损
。
操作篇
4-1-4
故障排除
篇
3-1-6
5-1-2
5-2-4-2
输入环I/O
0044:Bit2
有可能是向机器供给的气压
未正确设置。
(基板止动器未弹出。)
[传感器 No]
B1F03
[电子管 No]
F4112
请确认气压,对止动器的
弹出和返回进行确认,以
此判断止动器动作是否有
问题。
确认基板止动器返回检测
传感器是否发生了故障。
故障排除
篇
3-1-1
3-1-6
5-1-3
5-1-6
5-2-3
5-2-5
输入头I/O
321:Bit3
输出头I/O
0061:Bit2
2-1-5-5
SPG EJP6AC-MB-02TS-01
热断路装置真
空泵跳闸检测
[1898]
真空泵冷却风
扇警报检测
[1897]
基板止动器上
升检测联锁错
误
[1776]
错误信息
[Error Code]
地址
错误原因 检查和对策 参照
轴动作中,因基板止动器上升
检测传感器(输入I/O:NO.11)
没有在ON的状态。基板止动
器一直保持在下降的状态。
[传感器 No]
B1F03
[电子管 No]
R4112
气压正确供给的情况下,
请确认止动器的上升检测
传感器是否破损或断线
。
故障排除
篇
3-1-1
3-1-6
5-1-3
5-2-3
输入头I/O
321:Bit3
输出头I/O
0061:Bit2
1)发生高温异常。
2)冷却扇的故障或断线。
1)请在控制箱冷却之后
，
在[机器调整菜单]的[输
入确认]下确认冷却扇
报警1的输入是否为ON。
2)需要更换冷却扇。请与
本公司联络
。
故障排除
篇
3-1-6
3-1-7
输入环I/O
0003:Bit0
真空泵的热开关检测出过电
流。
1)请确认电源线或连接部，
当发现松缓时，请拧紧
电源连接部。
2)请确认电磁开闭器的状
态或热感的设定值。
故障排除
篇
3-1-7
环I/O
0040:Bit1
2-1-5-6
错
误
对
策
SPG EJP6AC-MB-02TS-01
热断路装置鼓
风机马达跳闸
检测
[1900]
鼓风机马达冷
却风扇警报检
测
[1899]
错误信息
故障排除篇
2-1-5
紧急停止错误 4
错误信息
[Error Code]
地址
错误原因 检查和对策 参照
1)发生高温异常。
2)冷却扇的故障或断线。
1)等到控制箱冷却后
，请
确认[机器调整菜单]的
[输入确认]下的冷却扇
报警1的输入是否为ON。
2)需要更换冷却扇。请与
本公司联络。
故障排除
篇
3-1-2
3-1-6
环I/O
0003:Bit1
鼓风机的热开关检测出过电
流。
1)确认电源线或连接部
，
如果发现松缓
，则请拧
紧电源连接部。
2)请确认电磁开闭器的状
态或热感的设定值。
故障排除
篇
3-1-2
环I/O
0040:Bit0
2-1-5-7