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SPG EJP6AC-MB-0 2TS-0 1 基板输送口联锁错误 ( 右 ) [1790] 基板输送口联锁错误 ( 左 ) [1789] 紧急停止开关 [1300] 安全盖开联锁错误 [1788] 错误信息 故障排除篇 2-1-8 驱动器错误 1 错误信息 [Error Code] 错误原因 检查和对策 参照 轴动作中安全盖被打开。 [ ILK-Code ] F:0x601 请将安全盖关闭后 , 再次 开始运转 。 操作篇 1-9-1…
SPG EJP6AC-MB-02TS-01
磁盘初始化失败
[64006]
识别数据保存错误
[64011]
错误信息
[Error Code]
错误原因 检查和对策 参照
机器数据的识别数据保存失败
了。
(识别数据保存错误)
可能是SD卡损坏了。请
确认SD卡。
操作篇
1-5
SD卡的初始化失败了。
(识别数据保存错误)
可能是SD卡损坏了
。请
确认SD卡
。
操作篇
1-5
2-1-7-3
错
误
对
策
SPG EJP6AC-MB-02TS-01
基板输送口联锁错误(右)
[1790]
基板输送口联锁错误(左)
[1789]
紧急停止开关
[1300]
安全盖开联锁错误
[1788]
错误信息
故障排除篇
2-1-8
驱动器错误 1
错误信息
[Error Code]
错误原因 检查和对策 参照
轴动作中安全盖被打开。
[ ILK-Code ]
F:0x601
请将安全盖关闭后,再次
开始运转
。
操作篇
1-9-1
紧急停止开关被按下。
(紧急停止开关被按下。)
[ ILK-Code ]
F:0x602
请将紧急停止开关向外侧
拉出解除。
操作篇
1-9-2-2
轴动作中左基板搬送部的安
全传感器被遮光。
[ ILK-Code ]
F:0x603
[传感器 No]
B1014
请确认安全传感器ON后,
重新开始运转
。
故障排除
篇
5-1-1
5-2-4
轴动作中右基板搬送部的安
全传感器被遮光
[ ILK-Code ]
F:0x604
[传感器 No]
B1015
请升起安全挡板,确认安
全传感器ON后,重新开始
运转。
故障排除
篇
5-1-1
5-2-4
2-1-8-1
SPG EJP6AC-MB-02TS-01
支撑轴联锁错误
[1791]
伺服器OFF联锁错误
[1719]
主气压联锁错误
[1706]
错误信息
[Error Code]
错误原因 检查和对策 参照
轴动作中,主气压降低。
[ ILK-Code ]
F:0x605
1)请确认是否正确供给空
气
。
2)请确认配管是否漏气
。
3)请确认主气压的传感器
是否损坏或断线
。
故障排除
篇
3-1-1
轴动作中,伺服开关被置OFF。
[ ILK-Code ]
F:0x606
请将伺服开关置ON后,重
新开始运转
。
操作篇
1-9-2-2
支撑轴动作中,检测基板等异
物夹入情况的传感器被遮光。
[ ILK-Code ]
F:0x607
[传感器 No]
B1124
B1C40
1)如果基板落到传送带上
时,请取出基板。
2)请确认支撑装置(支撑
块、支撑销等)的安装
位置。
3)在传送带上落有工具等
时,请清除。
4)请确认传感器的连线以
及传感器是否损坏。
操作篇
6-1-3
故障排除
篇
5-1-2
5-2-4-1
2-1-8-2
错
误
对
策