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SPG EJP6AC-MB-0 5TS-0 0 B1B42 M621 B1B41 B1132 B1133 B1C30 M636 B1126 B1127 M401 5-1 -5 M631 B1C01 B1C00 B1113 B1117 B1C40 B1124 B1112 M635 M635 M402 M403 负荷 配置图 负荷配置图 3 故障排除篇 5-1 XY 工作台 基板定位升降机 前面 后面
SPG EJP6AC-MB-05TS-00
A
R4117
R4114
R4144
R4145
R4114
箭头图A
清洁: 吹气规格
基板吸着: 真空泵规格
清洁: 喷射规格
基板吸着: 真空泵规格
5-1-4
负
荷
配
置
表
SPG EJP6AC-MB-05TS-00
B1B42
M621
B1B41
B1132
B1133
B1C30
M636
B1126
B1127
M401
5-1-5
M631
B1C01
B1C00
B1113
B1117
B1C40
B1124
B1112
M635
M635 M402
M403
负荷
配置图
负荷配置图 3
故障排除篇
5-1
XY工作台
基板定位升降机
前面 后面
SPG EJP6AC-MB-05TS-00
M404
B1B00
B1F03
M407
B1F04
B1E03
M405
5-1-6
B1B10
M611
U0132
U0133
M612
B1B20
B1141
B1116
刮刀头
识别单元
负
荷
配
置
表