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SPG EJP6AC-MB-0 3TS-0 1 确认和对 策 故障排除篇 3-1-6 传感器错误发生后的 输入确认 发生错误的原因之一 , 可能是传感器的问题。 在此说明如何确认传感器是否是正常输入状态 (ON 、 OFF) 。 1 2 3 2 1 确认错误提示 ●请确认触摸屏的 或者本说明书 的错误提示一览表中的对策内容。 （ → P2-1-2 -2 ～ P2-1-8 -13 ） 确认错误提示一览表中记载的 地址的输入状态是否正常 (…
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
后面图
真空泵的热断路装置开关复位
卸下后面保护盖,按下复位按钮。
如果未待真空泵冷却就重新运转,会有可能再次发生异常。所以,请等到真空泵冷却到常温状态后再重新开始运
转。发生故障时,需要进行更换,请与本公司联络。
确认和对
策
故障排除篇
3-1-5
热断路装置/真空泵 (选购件)
3-1-5
复位按钮
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
确认和对
策
故障排除篇
3-1-6
传感器错误发生后的
输入确认
发生错误的原因之一,可能是传感器的问题。
在此说明如何确认传感器是否是正常输入状态 (ON、OFF)。
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确认错误提示
●请确认触摸屏的 或者本说明书
的错误提示一览表中的对策内容。
（→P2-1-2-2 ～ P2-1-8-13）
确认错误提示一览表中记载的
地址的输入状态是否正常(ON/OFF)
●传感器的输入状态如果不正常,可能是故
障或者断线。
●需要更换,请与本公司联络。
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(显示「机器调整菜单」画面)
(显示「输入确认一览」画面)
(显示「输入确认的地址」画面)
3-1-6
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确
认
和
对
策
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SPG EJP6AC-MB-03TS-01
确认和对
策
故障排除篇
3-1-7
可动部错误发生后的
输出确认
发生错误的原因之一,可能是可动部的问题。
在此说明如何确认可动部是否是正常运转状态 (动作、停止) 。
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确认错误提示
●请确认触摸屏的 或者本说明
书的故障提示一览表中的对策内容。
（→P2-1-2-2～ P2-1-8-13）
按错误提示一览表中记载的地址的
名称开关
●可动部动作。不是正常运转 (动作、停
止) 时,可能是故障或者断线。
●需要更换,请与本公司联络。
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3-1-7
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(显示「机器调整菜单」画面)
(显示「输出确认一览」画面)
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