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SPG EJP6AC-MB-0 3TS-0 1 3-1-1 气压调整 不能供给正常的运转气压（ 0.5 ～ 0.55MPa ）时 , 请按照下图 步骤调整到规定的气 压。 确认和对 策 故障排除篇 3-1-1 运转气压异常 气压 调节器旋钮 确认运转气压的同时 , 调节旋钮来调整气压 2 3 推入调节器旋钮 , 锁定 1 向外拉出调节器旋钮 , 解锁 1 2 3 前面图
Troubleshooting
3
确认和对策
-1
确认和对策
-1-1
运转气压异常
-1-2
热断路装置(鼓风机)/冷却风扇
-1-3
CPU BOX冷却风扇
-1-4
解除升降机轴制动器/支撑轴制动器
-1-5
热断路装置/真空泵 (选购件)
-1-6
传感器错误发生后的输入确认
-1-7
可动部错误发生后的输出确认
-1-8
基板识别错误
-1-9
网板识别错误
-1-10
轴错误
-1-11
基板传送错误
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
3-1-1
气压调整
不能供给正常的运转气压（0.5～0.55MPa）时,请按照下图步骤调整到规定的气压。
确认和对
策
故障排除篇
3-1-1
运转气压异常
气压
调节器旋钮
确认运转气压的同时,
调节旋钮来调整气压
2
3
推入调节器旋钮,锁定
1
向外拉出调节器旋钮,解锁
1
2
3
前面图
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
后面图
鼓风机的热断路装置开关复位
卸下电源箱后侧保护盖,按下电源箱内的变换器复位按钮。复位后仍然会发生相同的异常时,请与本公司联络。
确认和对
策
故障排除篇
3-1-2
热断路装置(鼓风机)/
冷却风扇
确认冷却风扇的动作
如果冷却风扇的送风口不能向外送风,可能是冷却风扇发生故障。
如果是故障则需要进行更换,请与本公司联络。
3-1-2
前面图
复位按钮
冷却风扇
确
认
和
对
策