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基板传送错误时
●基板传送发生错误后,如果不取出造成错误
的基板而继续生产,则无法检测留下的基板,
继续传入下一片基板,有可能使基板破损。
●基板传送发生错误后再开始运转时,将显示
取出错误基板的警告画面。请勿遗忘取出
基板。
●基板夹具发生错误时,需要进行上述同样的
恢复步骤。
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确
认
和
对
策
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Troubleshooting
4
识别的对策
-1
轮廓识别错误提示
-1-1
生产中的显示
-1-2
生产后的识别信息(记忆功能)
-1-3
识别错误提示一览
-2
识别装置的维修保养
-2-1
识别装置的维修保养画面