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SPG EJP6AC-MB-0 3TS-0 1 基板传送错误 4 显示后传送带传出错误 〈可继续的错误〉 显示后传送带传出错误 〈可继续的错误〉 ON ON OFF OFF 经过 未经过 显示后传送带传出错误 〈可继续的错误〉 显示后传送带传出错误 〈可继续的错误〉 经过 未经过 ( 右 ) [ 左 ] 传送带传送马达停止运转 ( 右 ) [ 左 ] 传送带传送马达停止运转 后传送带传出基板 2 3-1-1 1 -7 确认和 对策 R-…
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
显示中、后传送带传送错误显示中、后传送带传送错误
OFF
ON
OFF
OFF
ON
经过
未经过
把(右) [左] 传送带传送马达置于ON把(右) [左] 传送带传送马达置于ON
显示中、后传送带传送错误显示中、后传送带传送错误
ON
经过
未经过
后传送带传出基板1
3-1-11-6
(基板检测2：右)
[基板检测1：左]
传感器是ON吗?
R-Ready (准备)ON?
经过了5秒?
(基板检测1：右)
[基板检测2：左]
传感器是OFF吗?
动作参数基板排出
等待时间 (要求OFF)
是否经过?
确
认
和
对
策
这里的流程表示设备的动作。
()：左→右流向 []：右→左流向
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
基板传送错误 4
显示后传送带传出错误
〈可继续的错误〉
显示后传送带传出错误
〈可继续的错误〉
ON
ON
OFF
OFF
经过
未经过
显示后传送带传出错误
〈可继续的错误〉
显示后传送带传出错误
〈可继续的错误〉
经过
未经过
(右) [左] 传送带传送马达停止运转(右) [左] 传送带传送马达停止运转
后传送带传出基板2
3-1-11-7
确认和
对策
R-Ready (准
备)OFF?
动作参数基板排出
等待时间 (要求OFF)
是否经过?
(基板检测2：右)
[基板检测1：左]
有无传感器是OFF吗?
动作参数基板排出
等待时间 (要求OFF)
是否经过?
故障排除篇
3-1-11
这里的流程表示设备的动作。
()：左→右流向 []：右→左流向
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
基板传送错误时
●基板传送发生错误后,如果不取出造成错误
的基板而继续生产,则无法检测留下的基板,
继续传入下一片基板,有可能使基板破损。
●基板传送发生错误后再开始运转时,将显示
取出错误基板的警告画面。请勿遗忘取出
基板。
●基板夹具发生错误时,需要进行上述同样的
恢复步骤。
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确
认
和
对
策