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T r oubleshooting 3 确认和对策 -1 确认和对策 -1-1 运转气压异常 -1-2 热断路装置 ( 鼓风机 ) /冷却风扇 -1-3 CPU BO X 冷却风扇 -1-4 解除升降机轴制动器/支撑轴制动器 -1-5 热断路装置/真空泵 ( 选购件 ) -1-6 传感器错误发生后的输入确认 -1-7 可动部错误发生后的输出确认 -1-8 基板识别错误 -1-9 网板识别错误 -1-10 轴错误 -1-1 1 基板传送错…
SPG EJP6AC-MB-02TS-01
故障排除篇
2-2
获取错误记录的方法 6
2-2-11
通过LNB获取设备事件的方法
■浏览器画面(LNB)
1
关于与LNB的连接方法，请参照“LNB使用说明书”的P.2-3。
2 4
1
2
●设定的项目
事件信息的显示条件设定
4
显示设备事件信息。
以CSV形式保存设备事件信息。
生产设备编号:
日期:
时间:
3
显示所设定的显示条件的事件信息。
3
●参照下述画面时，需要LWS(Line Work Station)。
Troubleshooting
3
确认和对策
-1
确认和对策
-1-1
运转气压异常
-1-2
热断路装置(鼓风机)/冷却风扇
-1-3
CPU BOX冷却风扇
-1-4
解除升降机轴制动器/支撑轴制动器
-1-5
热断路装置/真空泵 (选购件)
-1-6
传感器错误发生后的输入确认
-1-7
可动部错误发生后的输出确认
-1-8
基板识别错误
-1-9
网板识别错误
-1-10
轴错误
-1-11
基板传送错误
SPG EJP6AC-MB-03TS-01
3-1-1
气压调整
不能供给正常的运转气压（0.5～0.55MPa）时,请按照下图步骤调整到规定的气压。
确认和对
策
故障排除篇
3-1-1
运转气压异常
气压
调节器旋钮
确认运转气压的同时,
调节旋钮来调整气压
2
3
推入调节器旋钮,锁定
1
向外拉出调节器旋钮,解锁
1
2
3
前面图