TR7500QE_Software_ch_v3.0_20171101.pdf - 第162页
Test Research, Inc. TR7500Q E User Gu ide – S o f twar e 139 圖 228 ：異 物檢測說明 圖示 區塊確認：啟用區塊數 量確認功能。 內部對位：依據教導的 影像進行自動對位 動作。 檢視字元搜尋範圍：當 教導影像後，系統 會針對每個字元新 增獨立的檢測框 並有各自的檢 測範圍。 圖 229 ：檢 視字元搜尋 範圍範例 邊界範圍： FOV 影像邊界往內濾除的範 圍…
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圖 226：低內/外部遮罩說明
最大教導區塊數量：設定教導區塊數量的最大值，超過的部分其區塊將不會被教導。
最小教導面積：設定作為教導影像中區塊的最小面積(預設 5000μm)。如下圖所示，若設
定為 2000μm 時，邊緣的碎小異物也會被加到教導的標準影像中(如左下圖)。此時，使用
者須設定為 12000μm，將較佳的影像教導成為標準影像進行待測物的比對(如右下圖)。
圖 227：教導面積下限說明圖示
異物檢測：設定進行外部異物的檢測。若沒有勾選時，如左下圖所示，外部的異物不會被
列入區塊面積內進行比對計算。若有勾選時，如右下圖所示，外部的異物將會被列入區塊
面積內進行比對計算。
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圖 228：異物檢測說明圖示
區塊確認：啟用區塊數量確認功能。
內部對位：依據教導的影像進行自動對位動作。
檢視字元搜尋範圍：當教導影像後，系統會針對每個字元新增獨立的檢測框並有各自的檢
測範圍。
圖 229：檢視字元搜尋範圍範例
邊界範圍：FOV 影像邊界往內濾除的範圍(預設 250μm)。此功能是在避免當教導的影像
邊緣有不完整的金手指區塊而導致誤判。如左下圖為為設定此參數為 250 時，而右下圖為
設定此參數為 0 時。
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圖 230：邊界範圍說明圖示
3.6.15 邊緣計數(Edge)框
1) 用途：用來檢測元件的邊緣缺陷。
2) 檢測原理：利用影像中的色彩來計算元件的邊緣數量。
3) 參數畫面與說明：
圖 231：邊數計算框參數設定畫面