N7201A706C.pdf - 第119页
NPM-W X/WXS EJM9DC-MB-03E-0 0 3-6 -2 真空泵 触摸屏 XY 单元 后侧 触摸屏 真空泵 X 轴线性导轨 电缆护链 Y 轴线性导轨 电缆护链
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03E-00
各单元定期检查部位 1
＜各类型共同点＞
各种压力表
3-6-1
工程师手册
3-6
关于设定值和检查方法的细节，请参考操作手册 “6-1-1 压力的检查”。
主气压
真空泵供给压
真空破坏压
1
3
2
4
1
选购件用
清扫吹气压
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03E-00
3-6-2
真空泵
触摸屏
XY单元
后侧
触摸屏
真空泵
X轴线性导轨
电缆护链
Y轴线性导轨
电缆护链
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03E-00
基板传送带
各单元定期检查部位 2
＜各类型共同点＞
3-6-3
前侧・后侧
工程师手册
3-6
基板检测传感器
宽度调整滚珠丝杠
基板传送皮带
■单式传送带
■双式传送带
基板传送皮带
基板传送皮带
基板支撑块
线性导轨
线性导轨
宽度调整滚珠丝杠
线性导轨
基板检测
传感器
宽度调整滚珠丝杠
基板检测传感器
基板检测传感器
基板检测传感器
基板传送皮带
宽度调整滚珠丝杠
基板支撑块
基板检测传感器在各轨道上有6个。