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EJM9DC-MB-04E-0 1 NPM-W X/WXS OFF SERVO ON 工程师手册 4-1 基板传送带的润滑脂添加 2 4-1 -3 14 13 12 8 10 9 ACTIV A TION ACTIV A TION 安装供料器工作台 盖 ( → P.2-5) ●事先确认基板支撑块上不存在支 撑销。 ●使搬送传送带的宽度调整轴连续 来回往返 5 次以上 。 确认提示 STOP 安装交换台车 ( → P.2-4) 11
EJM9DC-MB-04E-01NPM-WX/WXS
4-1-2
向基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨上供给润滑脂
7
线性导轨
*2)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
轨道1右侧
轨道2右侧
*3)
轨道1左侧
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
轨道2左侧
*3)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
线性导轨
*2)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
*1)滚珠丝杠的情形
●从润滑脂注入口(可动侧轨道) ，使用润滑脂枪添加。
各压出1次(约0.9 cm
3
)
●使用润滑脂: LCG100
*2)线型导轨的情形
●在线性导轨上直接涂抹润滑脂。
●使用润滑脂: LCG100
*3)是单轨传送带时，不需要进行轨道2的作业。
线性导轨
*2)
线性导轨
*2)
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顺序
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OFF SERVO ON
工程师手册
4-1
基板传送带的润滑脂添加 2
4-1-3
14
13
12
8
10
9
ACTIVATION
ACTIVATION
安装供料器工作台
盖(→P.2-5)
●事先确认基板支撑块上不存在支
撑销。
●使搬送传送带的宽度调整轴连续
来回往返5次以上。
确认提示
STOP
安装交换台车
(→P.2-4)
11
EJM9DC-MB-04E-01NPM-WX/WXS
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