N7201A706C.pdf - 第255页
EJM8DC-MB-09E-0 1 NPM-W X/WXS 9-2-2 -4 17 15 14 16 基板支撑销 用于轨道 1 用于轨道 2 无间隙 用于轨道 2 后侧 从单轨模式 ⇒ 双轨模式进行变更时。 ( 要从后侧进行作业 ) • 因为用于轨道 1 的和用于轨道 2 ( 各 2 个 ) 的 基板支撑块之间无间隙，所以要变更快的 固定位置，使其产生间隙。 • 拆下跟前侧的块 ( 用于轨道 2 的 ) 。 • 将内侧的块 ( 用于…
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(→P.2-4)
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模式的
切换
切换的确认 2
工程师手册
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用于轨道1
用于轨道2
间隙
用于轨道2
前侧
卸下交换台车
打开安全盖
请使供料器工作台盖倒向内侧
伺服开关OFF
在多功能识别照相机上面蒙上棉纱
布
●防止作业中杂物混入照相机透镜内
使用固定式基板支撑块时，请至步骤 。
使用基板支撑块整体交換方式，或使用
支撑销自动交換的基板支撑块时，需要变更
基板支撑块的安装位置。
(请参考操作员使用的手册P.7-3-1。)
从双轨模式⇒单轨模式进行变更时。
(要从前侧进行作业)
• 因为用于轨道1的和用于轨道2的基板支撑块
之间 (各2个) 有间隙，所以要变更块的安装
位置，使其无间隙。
• 拆下内侧的块 (用于轨道2的)。
• 将内侧的块 (用于轨道2的) 向跟前侧的块
(用于轨道1的) 靠紧并安装好。
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基板支撑销
用于轨道1 用于轨道2
无间隙
用于轨道2
后侧
从单轨模式⇒双轨模式进行变更时。
(要从后侧进行作业)
• 因为用于轨道1的和用于轨道2 (各2个) 的
基板支撑块之间无间隙，所以要变更快的
固定位置，使其产生间隙。
• 拆下跟前侧的块 (用于轨道2的)。
• 将内侧的块 (用于轨道1的) 从跟前侧的块
(用于轨道1的) 分离 (≒79 mm) 并安装好。
关闭安全盖
安装供料器工作台盖
安装基板支撑销
取下盖在多功能识别照相机上的棉纱
布
●请注意不要将灰尘落下及碰撞多功能识
别照相机 (LED照明上)。
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模式的
切换
切换的确认 3
工程师手册
9-2-2
(基板支撑块转为下降到原点的状态)
确认提示
伺服开关ON
安装交换台车
(→P.2-4)