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NPM-W X/WXS EJM9DC-MB-11E-0 0 11 - 3 -5 设置 3 工程师手册 11 - 3 1 FRONT SIDE REAR SIDE 4,474 1,145 749 686 1,145 2,237 2,237 749 基板搬送基准 基板搬送基准 交换台车 (30 站 ) ( 选购件 ) 交换台车 (30 站 ) ( 选购件 ) ●前侧、后侧 : 交换台车 (30 站 ) ( 选购件 ) 注意 设置 按照地面上…
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-11E-00
11-3-4
3
2
FRONT SIDE
REAR SIDE
2,900mm
918 mm
2,900 mm
918 mm
(P.11-3-7)
顺序
确认工作区域
工作区域
工作区域
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-11E-00
11-3-5
设置 3
工程师手册
11-3
1
FRONT SIDE
REAR SIDE
4,474
1,145
749 686 1,145
2,2372,237
749
基板搬送基准
基板搬送基准
交换台车 (30站)
(选购件)
交换台车 (30站)
(选购件)
●前侧、后侧: 交换台车 (30站) (选购件)
注意
设置
按照地面上所画的基准线暂时放置，然后调整设置位置。
●为了前后的设备之间能够顺利进行基板传送，调整方向和高度。
●和邻接的设备之间的间隔要保持在5～10 mm以下之间。
●设备的下面如果要放置导管，需要与设备之间空开40 mm以上的距离
●各图的尺寸为最小空间。(单位: mm)
●设置本机器请按照专门人员的指示进行操作。
●有关再设置情况请向本公司咨询。
■设置图
前侧、后侧: 交换台车 (30站)
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-11E-00
11-3-6
3
2
FRONT SIDE
REAR SIDE
2,900mm
1,175 mm
2,900 mm
1,175 mm
(P.11-3-7)
顺序
确认工作区域
工作区域
工作区域