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EJM9DC-MB-04E-0 1 NPM-W X/WXS OFF SERVO ON 卸下托盘供料器或 者交换台车 传送带的检查 1 4-6 -1 1 2 使传送带宽度为 150 mm → 『操作篇』 P.3-3-4) 安装托盘供料器或 者交换台车 11 9 10 在这里对基板传送带、 延 长传 送 带 、传送带 L 、传送带 R 的检查方法进行说明。 使用工具 : 皮带张力计 所需时间 : 基板传送带 : 单式 : 10 分钟、双式 …
EJM9DC-MB-04E-01NPM-WX/WXS
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取下有破损的吸着垫圈
●为了稳定吸着元件，有的吸嘴有吸着垫圈。
当吸着垫圈有破损或裂纹时，请更换吸嘴垫圈或者吸嘴本体。
(1004吸嘴、1005吸嘴等)
装上新的吸着垫圈
清扫吸嘴交换器上面
●请勿在和吸嘴反射板的接触
面上留下灰尘。
●请确认挡板和吸嘴交换器的
空隙间没有夹住灰尘等异物。
吸嘴交换器
棉纱布
EJM9DC-MB-04E-01NPM-WX/WXS
OFF SERVO ON
卸下托盘供料器或
者交换台车
传送带的检查 1
4-6-1
1
2
使传送带宽度为
150 mm
→『操作篇』P.3-3-4)
安装托盘供料器或
者交换台车
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10
在这里对基板传送带、延长传送带、传送带L、传送带R的检查方法进行说明。
使用工具: 皮带张力计
所需时间: 基板传送带: 单式: 10分钟、双式: 15分钟、延长传送带:单式: 5分钟、双式: 10分钟
传送带L、传送带R: 各2 分钟
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工程师手册
4-6
OFF SERVO ON
●为了更有利于操作。
●托盘供料器时
(→P.11-8)
●交换台车时
(→P.2-4)
●托盘供料器时
(→P.11-8)
●交换台车时
(→P.2-4)
基板传送皮带的检查
EJM9DC-MB-04E-01NPM-WX/WXS
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6
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可动侧
固定侧
可动侧
固定侧
轨道1侧
轨道2侧
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可动侧
固定侧
双式传送带规格 单 式 传送带规格
将供料器工作台盖
倒向内侧
(→P.2-5)
安装供料器工作台
盖 (→P.2-5)
检查皮带
把X轴往内推
皮带
●用滚轮转动皮带，如果发现损伤、灰尘附着，或发生磨损、起毛
就进行更换。
●双式传送带的各轨道是8根、单式传送带是8根。
(参照下图)
●皮带位置
马达皮带滚轮