N7201A706C.pdf - 第138页
EJM9DC-MB-04E-0 1 NPM-W X/WXS 卸下托盘供料器或 者交换台车 工程师手册 4-1 基板传送带的润滑脂添加 1 4-1 -1 1 5 2 3 4 6 OFF SERVO ON 将供料器工作台盖 倒向内侧 ( → P.2-5) ●事先确认不存在支撑销。 确认提示 ●不要倚靠在供料器工作台盖 上，也不要在上面放置物品。 ●托盘供料器时 ( → P.11-8) ●交换台车时 ( → P.2-4) ACTIV A TI…
4 定期检查
每560小时保养
EJM9DC-MB-04E-01NPM-WX/WXS
卸下托盘供料器或
者交换台车
工程师手册
4-1
基板传送带的润滑脂添加 1
4-1-1
1
5
2
3
4
6
OFF SERVO ON
将供料器工作台盖
倒向内侧
(→P.2-5)
●事先确认不存在支撑销。
确认提示
●不要倚靠在供料器工作台盖
上，也不要在上面放置物品。
●托盘供料器时
(→P.11-8)
●交换台车时
(→P.2-4)
ACTIVATION
ACTIVATION
对基板传送带的润滑脂添加方法进行说明。
使用工具: 润滑脂枪 所需时间: 20 分钟
对基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨添加润滑脂。
轨道1、轨道2都是从前侧实施作业。
是双轨传送带时，建议在双轨模式下进行作业。(→P.9-2-1)
是单轨传送带时，只需进行轨道1的作业。
EJM9DC-MB-04E-01NPM-WX/WXS
4-1-2
向基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨上供给润滑脂
7
线性导轨
*2)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
轨道1右侧
轨道2右侧
*3)
轨道1左侧
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
轨道2左侧
*3)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
线性导轨
*2)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
*1)滚珠丝杠的情形
●从润滑脂注入口(可动侧轨道) ，使用润滑脂枪添加。
各压出1次(约0.9 cm
3
)
●使用润滑脂: LCG100
*2)线型导轨的情形
●在线性导轨上直接涂抹润滑脂。
●使用润滑脂: LCG100
*3)是单轨传送带时，不需要进行轨道2的作业。
线性导轨
*2)
线性导轨
*2)
8
顺序