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EJM9DC-MB-04E-0 1 NPM-W X/WXS 2 7 真空泵过滤器的清扫 4-8 -1 9 工程师手册 4-8 8 ON 3 1 拆下后侧的交換 台车 ●拆卸方法 ・ 交换台车时 ( → P.2-4) 对真空泵过滤器的清扫方法进行说明 。 使用工具 : 六角扳手、十字螺丝刀 所需时间 : 30 分钟 ●作业过程中，注意不要碰撞到头。 主电源开关置于 OFF ，上锁 ●螺丝 (8 个 ) 安全盖 卸下安全盖 安装安全盖 安全…
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OFF SERVO ON
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从贴装头卸下吸
嘴
●捏住吸嘴外周往下拉。
用棉纱布擦拭大型
反射板
大型反射板
将吸嘴安装到贴
装头上
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真空泵过滤器的清扫
4-8-1
9
工程师手册
4-8
8
ON
3
1
拆下后侧的交換
台车
●拆卸方法
・交换台车时
(→P.2-4)
对真空泵过滤器的清扫方法进行说明。
使用工具: 六角扳手、十字螺丝刀 所需时间: 30 分钟
●作业过程中，注意不要碰撞到头。
主电源开关置于
OFF，上锁
●螺丝 (8 个)
安全盖
卸下安全盖
安装安全盖
安全盖
●螺丝 (8个)
安装后侧的交換
台车
●安装方法
・交换台车时
(→P.2-4)
解锁
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4-8-2
从安全盖卸下过
滤器进行清扫
●使用气枪。
●请勿使用有机溶剂。
过滤器
把过滤器安装在
安全盖上
过滤器
取出过滤器芯进行清扫
①分解过滤器单元。
②使用气枪，清除过滤器芯的
灰尘。
(请勿使用有机溶剂)
③把过滤器单元组装成原样。
贴装头
过滤器芯
O型环
过滤器盒
圆环
真空泵