第1章 MMI错误码和问题解决.pdf - 第37页

1-37 $6030 Head $H PUT . [FREEZE ] [ ]  吸嘴 PUT 动作后，未对准 AN C 槽的中心或因不适当的高度设定等无法进行吸嘴 ANC 动作实际上磁头上存在吸嘴的情况或  未准确执行 VISION 吸嘴确认的情况。 [ ]  按 ”STOP” 按钮关闭蜂鸣器。  ” 按 ”RESET” 按钮把设备转换成 ”IDLE” 方式  点击 ” READY ” 按钮给…

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 吸嘴的长度设定为 0。

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 按”STOP”按钮关闭蜂鸣器。

 ”按”RESET”按钮把设备转换成”IDLE”方式

 在 Sys. Setup 的 Device 选择吸嘴后，确认在 Length 是否正确地输入长度。

 吸嘴的长度为13.5。(CP45FV时吸嘴长度: 9.4)

$6020 Head $H PUT. [FREEZE ]

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 将要 PUT 吸嘴时，实际在 Head 上没有吸嘴的情况。

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 按”STOP”按钮关闭蜂鸣器。

 ”按”RESET”按钮把设备转换成”IDLE”方式

 用手确认该 Head 上有没有吸嘴。

 相应的磁头上实际不存在吸嘴，但ANC菜单的对话框中设置为相应磁头上已贴

装吸嘴，那么确认‘No real motion(Manual)’后选择有错误发生磁头序号标识的

吸嘴所在的槽，再点击<Put>按钮重新进行ANC设定。

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$6030 Head $H PUT. [FREEZE ]

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 吸嘴PUT动作后，未对准ANC槽的中心或因不适当的高度设定等无法进行吸嘴

ANC动作实际上磁头上存在吸嘴的情况或

 未准确执行VISION吸嘴确认的情况。

[ ]

 按”STOP”按钮关闭蜂鸣器。

 ”按”RESET”按钮把设备转换成”IDLE”方式

 点击”READY”按钮给设备提供电源。

 在ANC对话框点击‘Fiducial Mark Detail …’后移动到Fiducial Mark位置确认Fid

ucial Mark位置是否准确设置。如果位置设置错误请重新进行示教。有关示教

的详细事项请参照Administrator’s Guide的 “12.1 Fiducial Mark Teaching”部分

。

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 首先点击按钮执行“Position”对话框，在ANC菜单点击‘Hole Position Det

ail …’后，为确认槽坐标是否准确选择错误发生的ANC槽，确认要移动的设备

是否选择为“Fid Cam”。还有点击<Move>按钮移动到相应ANC槽位置确认槽的

中心是否与设置的位置一致。另外，利用示教框手动下降Z轴确认ANC槽坐标

的Z值是否准确。