第1章 MMI错误码和问题解决.pdf - 第42页
1-42 $60a0 NOZZLE_EMPTY_ERROR[FRE EZE ] [ ] Head 不能带来吸嘴 I D 的开关（ S/W ）错误。 [ ] 正常关闭设备电源过 5 秒后重新打开电源重新启动。 $60b0 NOZZLE_EXIS T_ERROR[FREEZE ] [ ] Head 不能带来吸嘴 I D 的开关（ S/W ）错误。 [ ] 正常关闭设备电源过 5 秒后重新打开电源重新启动。 $60c0 SET…
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用手确认该 Head 上有没有吸嘴。
点击”READY”按钮给设备提供电源。
相应磁头上实际存在吸嘴，但在ANC菜单的对话框中设置为错误发生磁头上未
贴装吸嘴的状态，则核对‘No real motion(Manual)’，再选择错误发生磁头后，
选择该磁头上实际配置吸嘴的ANC槽，然后点击<Pick>重新进行ANC设置。
$6070 Head GET [FREEZE ]
[ ]
吸嘴进行 GET 动作后，因为 ANC Pocket 的中心不对，或设定不适当的高度，
实际在 Head 上有吸嘴的情况。
未准确执行VISION吸嘴确认的情况。
[ ]
执行$6030措施方法。
$6080 Z GET [FREEZE ]
[ ]
Z 轴为吸嘴的 GET 动作下降（DOWN）时发生错误。
[ ]
执行$6040措施方法。
$6090 Z GET [FREEZE ]
[ ]
Z 轴为吸嘴的 GET 动作上升（UP）时发生错误。
[ ]
执行$6040措施方法。
3
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$60a0 NOZZLE_EMPTY_ERROR[FREEZE ]
[ ]
Head 不能带来吸嘴 ID 的开关（S/W）错误。
[ ]
正常关闭设备电源过5秒后重新打开电源重新启动。
$60b0 NOZZLE_EXIST_ERROR[FREEZE ]
[ ]
Head 不能带来吸嘴 ID 的开关（S/W）错误。
[ ]
正常关闭设备电源过5秒后重新打开电源重新启动。
$60c0 SET_NOZZLE_POINT_ERROR[FREEZE ]
[ ]
系统吸嘴的 TypeID 和 NozzleID 不一致的开关（S/W）错误。
正常关闭设备电源过5秒后重新打开电源重新启动。
$6501 MIRROR [FREEZE ]
[ ]
手动动作中发生的与$6001 同样的错误。
[ ]
请参考$6001 的[原因]和[措施方法]。
$6502 ANC [EMER ]
[ ]
手动动作中发生的与$6002 同样的错误。
[ ]
请参考$6002 的[原因]和[措施方法]。
$6503 ANC [EMER ]
[ ]
手动动作中发生的与$6003 同样的错误。
[ ]
请参考$6003 的[原因]和[措施方法]。
$6504 PUT [FREEZE ]
[ ]
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手动动作中发生的与$6004 同样的错误。
[ ]
请参考$6004 的[原因]和[措施方法]。
$6505 Z PORT [FREEZE ]
[ ]
手动动作中发生的与$6005 同样的错误。
[ ]
请参考$6005 的[原因]和[措施方法]。
$6506 SET_AXIS_ADDON_ERROR [FREEZE ]
[ ]
手动动作中发生的与$6006 同样的错误。
[ ]
请参考$6006 的[原因]和[措施方法]。
$6508 $H ANC [FREEZE ]
[ ]
手动动作中发生的与$6008 同样的错误。
[ ]
请参考$6008 的[原因]和[措施方法]。
$6509 $H ANC [FREEZE ]
[ ]
手动动作中发生的与$6009 同样的错误。
[ ]
请参考$6009 的[原因]和[措施方法]。
$650b PICK [EMER ]
[ ]
手动动作中发生的与$600a 同样的错误。
[ ]
请参考$600a 的[原因]和[措施方法]。
$650c $H [FREEZE ]
[ ]
手动动作中发生的与$60a0 同样的错误。
[ ]