第1章 MMI错误码和问题解决.pdf - 第38页

1-38  首先点击按钮执行 “Po siti on” 对话框，在 A NC 菜单点击 ‘Hol e Pos itio n Det ail …’ 后，为确认槽坐标是否准确选择错误发生的 A NC 槽，确认要移动的设备是否选择为 “F id C am” 。还有点击 <Mo ve > 按钮移动到相应 AN C 槽位置确认槽的中心是否与设置的位置一致。另外…

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$6030 Head $H PUT. [FREEZE ]

[ ]

 吸嘴PUT动作后，未对准ANC槽的中心或因不适当的高度设定等无法进行吸嘴

ANC动作实际上磁头上存在吸嘴的情况或

 未准确执行VISION吸嘴确认的情况。

[ ]

 按”STOP”按钮关闭蜂鸣器。

 ”按”RESET”按钮把设备转换成”IDLE”方式

 点击”READY”按钮给设备提供电源。

 在ANC对话框点击‘Fiducial Mark Detail …’后移动到Fiducial Mark位置确认Fid

ucial Mark位置是否准确设置。如果位置设置错误请重新进行示教。有关示教

的详细事项请参照Administrator’s Guide的 “12.1 Fiducial Mark Teaching”部分

。

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 首先点击按钮执行“Position”对话框，在ANC菜单点击‘Hole Position Det

ail …’后，为确认槽坐标是否准确选择错误发生的ANC槽，确认要移动的设备

是否选择为“Fid Cam”。还有点击<Move>按钮移动到相应ANC槽位置确认槽的

中心是否与设置的位置一致。另外，利用示教框手动下降Z轴确认ANC槽坐标

的Z值是否准确。

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 在ANC对话框点击<Shutter On/Off>按钮确认闸门是否正常动作。